[实用新型]真空桶式镀膜机无效
| 申请号: | 200620108913.6 | 申请日: | 2006-10-25 |
| 公开(公告)号: | CN200992572Y | 公开(公告)日: | 2007-12-19 |
| 发明(设计)人: | 李俊弘 | 申请(专利权)人: | 杭州金高照明电器有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C03C17/09 |
| 代理公司: | 杭州裕阳专利事务所 | 代理人: | 张宇娟 |
| 地址: | 311300浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 真空 镀膜 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜机,具体地说是一种将待镀膜基材如玻璃罩和加热系统置于真空桶内镀膜的真空桶式镀膜机。
背景技术
目前市场上生产玻璃反射罩的镀膜机通常采用外加热式镀膜机,其系统原理是待镀膜玻璃罩与真空杯一并在外部加热,如图1所示即为一种现有的玻璃反射罩镀膜机。这种镀膜机通常采用煤气加热,通过移动式烘箱103对玻璃罩101与真空杯102加热,使玻璃罩与真空杯内残留的空气加速排出真空系统外,提高真空系统的真空度。当真空系统达到蒸镀所需的真空度时,对玻璃罩内的电极通电,让附着在加热器如钨丝上的铝丝熔化,并均匀蒸发至待镀的玻璃罩内壁,即形成一层均匀的铝薄膜附着于玻璃罩内壁。
然而,采用这种外部加热的镀膜方式存在着如下不足:
1、常因加热烘箱的移动与外界气流的流动,使得玻璃罩与真空杯受热不均匀,影响整体真空系统的真空度,进而影响所镀薄膜的品质,造成内壁所镀膜厚薄不均、局部不能镀膜或薄膜亮度不足。而真空度是影响真空镀膜质量和均匀度的主要因素之一,真空度越高,蒸发源材料的分子才越易于离开材料表面向四周散射。
2、由于玻璃罩外壁为常压状态,内侧则成真空状态,玻璃罩将承受着较大的压力差,而这种玻璃罩壁厚度不均匀或玻璃内外压力差的存在极易造成玻璃罩在作业中发生爆炸,带来不良生产安全隐患,并影响产品品质。
发明内容
为克服现有技术中的上述技术缺陷,本实用新型提供了一种真空桶式镀膜机,它能很好地改善加热镀膜时的安全性,提高加热稳定性和镀膜所需的真空度,进一步提高产品良率。
为此,本实用新型采用的技术方案如下:
一种真空桶式镀膜机,包括一用于容置待镀膜基材的桶体及密封盖于桶体上方的盖体,桶体内设有加热系统和蒸发系统,所述的加热系统由电热元件和加热电极组成,所述的蒸发系统由蒸发源和蒸发电极组成,桶体壁上还设有真空系统接口。
根据本实用新型的一个方面,桶体底部向下凸出形成一桶体接口,桶体接口与一上方开口的工位头腔体相连接,蒸发电极连接于工位头腔体底部,真空系统接口位于工位头腔体底壁或侧壁上。
根据本实用新型的一个方面,工位头腔体与桶体接口采用螺纹方式、卡扣方式、卡箍方式或螺钉方式连接。
根据本实用新型的一个方面,工位头腔体与桶体接口的连接处设有密封圈。
根据本实用新型的一个方面,盖体为透明或半透明的玻璃盖体,或带玻璃可视窗的盖体。
根据本实用新型的一个方面,蒸发电极由第一电极杆和第二电极杆组成,所述的第一电极杆和第二电极杆为可拆卸式连接。
采用上述技术方案的本实用新型具有如下明显的优点和积极的效果:
1、提高了镀膜的安全性。在该真空桶体内,镀膜基材(如玻璃罩)在镀膜时能保持原有的稳定性,其内外壁在所需真空度时所承受的压力度一致,确保安全、不爆炸,还能节约原料、提高产量。
2、改善了镀膜时的真空度。在该真空桶体内,(如玻璃罩)在镀膜时不易受到外界因素如外界温度、湿度、气流等的影响,确保真空度的稳定并能迅速达到镀膜所需的真空度,使所需镀层能有效、均匀地附着于基材壁上,并能加强牢固度,提高良率。
3、提高了加热系统的稳定性。在该真空桶体内,加热系统能很好的、充分的发热,保证镀膜基材(如玻璃罩)在镀膜时所需的热度均匀,促使真空桶内的真空度快速提升,加速残留气体因热胀冷缩的原理而被排除在真空系统外,使镀层能有效、均匀地附着于玻璃壁上。
附图说明
图1为现有一种镀膜机工作原理示意图;
图2为本实用新型第一种实施例镀膜机结构示意图;
图3为本实用新型第二种实施例镀膜机的桶体与工位头腔体结构示意图;
图4为本实用新型第二种实施例镀膜机的桶体部分结构示意图;
图5为本实用新型第二种实施例镀膜机的桶体俯视图;
图6为本实用新型镀膜机的加热电极结构示意图。
图中,1-桶体,2-盖体,3-加热电极,31-螺杆,32-绝缘套管,33-不锈钢套管,34-螺母,35-绝缘片,4-电热丝,5-桶体接口,6-工位头腔体,7-蒸发电极,71-第一电极杆,72-和第二电极杆,73-螺丝,74-电极杆接头,8-加热器,9-真空系统接口,10-密封圈,11-卡箍,12-密封圈,13-电线。
具体实施方式
实施例1
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