[实用新型]真空桶式镀膜机

权利要求书

1、一种真空桶式镀膜机，其特征在于：包括一用于容置待镀膜基材的桶体(1)及密封盖于桶体上方的盖体(2)；桶体内设有加热系统和蒸发系统，所述的加热系统由电热元件和加热电极(3)组成，所述的蒸发系统由蒸发源和蒸发电极(7)组成；桶体壁上还设有真空系统接口(9)。

2、根据权利要求1所述的真空桶式镀膜机，其特征在于：桶体的底部向下凸出形成一桶体接口(5)，桶体接口与一上方开口的工位头腔体(6)相连接，蒸发电极(7)连接于工位头腔体(6)底部，真空系统接口(9)位于工位头腔体底壁或侧壁上。

3、根据权利要求2所述的真空桶式镀膜机，其特征在于：工位头腔体(6)与桶体接口(5)采用螺纹方式、卡扣方式、卡箍方式或螺钉方式连接。

4、根据权利要求3所述的真空桶式镀膜机，其特征在于：工位头腔体(6)与桶体接口(5)的连接处设有密封圈(10)。

5、根据权利要求1-4任一项所述的真空桶式镀膜机，其特征在于：盖体(1)为透明或半透明的玻璃盖体，或带玻璃可视窗的盖体。

6、根据权利要求1-4任一项所述的真空桶式镀膜机，其特征在于：蒸发电极(7)由第一电极杆(71)和第二电极杆(72)组成，所述的第一电极杆和第二电极杆为可拆卸式连接。

7、根据权利要求5所述的真空桶式镀膜机，其特征在于：蒸发电极(7)由第一电极杆(71)和第二电极杆(72)组成，所述的第一电极杆和第二电极杆为可拆卸连接。

8、根据权利要求1-4任一项所述的真空桶式镀膜机，其特征在于：加热电极(3)包括螺杆(31)、绝缘套管(32)和金属套管(33)，金属套管(33)套设在螺杆(31)外，绝缘套管(32)夹设在螺杆(31)与金属套管(33)之间。

9、根据权利要求7所述的真空桶式镀膜机，其特征在于：加热电极(3)包括螺杆(31)、绝缘套管(32)和金属套管(33)，金属套管(33)套设在螺杆(31)外，绝缘套管(32)夹设在螺杆(31)与金属套管(33)之间。