[实用新型]一种用于集成电路电镀生产线上的钢带夹持机构无效
申请号: | 200620078046.6 | 申请日: | 2006-09-28 |
公开(公告)号: | CN200964445Y | 公开(公告)日: | 2007-10-24 |
发明(设计)人: | 平晓磊 | 申请(专利权)人: | 无锡华友微电子有限公司 |
主分类号: | C25D7/00 | 分类号: | C25D7/00;C25D17/28;H01L21/288 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 | 代理人: | 殷红梅 |
地址: | 214028江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 集成电路 电镀 生产 线上 夹持 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种用于集成电路电镀生产线上的钢带夹持机构,具体地说是用于集成电路及分立器件外引脚连续性电镀,包含条带式和卷对卷式连续性电镀。
背景技术
在集成电路及分立器件制造行业当中,外引脚电镀是处于后段封装制程中形成成品前的一个关键工序。集成电路及分立器件制造是一项庞大的工程,通常按工序由多家企业分工完成,越到后面对成品率要求越高,一旦在电镀过程出现撞片变形将是无法恢复的,只能白白损失了前面几百道工序的投入。发生撞片的主要原因是传送带夹持力不足,在高压水去溢料或各工艺槽间的喷淋水洗、风刀环节,在外力作用下加工件极易掉片或下垂,由于通道口处狭小会造成堵塞,从而发生撞片事故,虽然在各工艺槽间装有掉片传感器,但还是无法避免有5-8条产品被撞变形。集成电路及分立器件外引脚电镀的主要功能是增强引脚的可焊接性和耐腐蚀性。正常连续性电镀工艺包括以下流程:电解脱脂、高压水去溢料、化学微蚀、酸活化、预浸、电镀、中和、水洗烘干、褪钢带。
连续性电镀线分环型线和直型线,传送带都呈水平环型,传送带的钢带腹板垂直,总长度约70米,每间隔1.5米有星型轮承托传送带,以确保传送带水平且在同一直线上。在整条电镀线两端分别有一个大转轮向外涨紧传送带,这两个转轮一个是驱动轮,另一个是转向轮。转向轮底座上装有一个8公斤压力的气缸始终向外推移,传送带在这个力作用下处于涨紧状态。
在已有技术中,传统的传送带通常是采用0.8-1.2毫米直径的弹簧丝或厚度为0.3毫米弹性钢片固定在钢带上,用来夹持加工件。在正常工作过程中工艺槽药水浸泡至传送带下部约10毫米,所以传送带的弹簧丝或弹性钢片的一部分浸泡在药水中,在强酸、强碱及电流的作用下弹簧丝或弹簧片很快被腐蚀,从而弹性减弱甚至发生断裂。因此一般传送带更换周期为20-30天(按每天工作20小时计算)。以更换70米传送带(零配件全部提前安装好的)为例,需6个熟练工人5小时才能完成。然而集成电路及分立器件制造行业全部是各工序连续不间断作业的,一个工序停顿会造成下个工序的停工待料,停工待料是此行业最怕出现的问题。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足之处,从而提供一种在电镀过程中使用钢带夹持机构夹持被加工件可匀速通过由强酸、强碱、强电、高温、高压环境交替组合而成的电镀全套工艺;其爪夹夹持力强、夹持耐久,能确保加工件不掉片;其次弹簧耐久性好,易更换;钢带抗拉能力强,不断裂,运行稳定不抖动。
本实用新型的主要解决方案是这样实现的:
本实用新型主要采用爪夹上端孔至于弹簧双扭圈之间,连接弹簧双扭圈抵在爪夹腹部,小轴穿过双扭圈和爪夹的孔,将双扭圈上部向前伸出的两条短臂夹在固定片内侧,小轴两端嵌入固定片后面的卡槽内,固定片前面翘起的部分穿过钢带腹板中线位置的横缝,爪夹下部夹持钩端跨入钢带腹板下部孔。
本实用新型爪夹下端延长并弯折成字母P形。
本实用新型固定片形状为马鞍形。
本实用新型弹簧的下端至钢带下边缘距离为:12~16mm。
本实用新型爪夹宽度为:2.5~3.5mm,厚度为:1~1.4mm。
本实用新型与已有技术相比具有以下优点:
本实用新型结构简单、紧凑,合理;在电镀过程中能夹持被加工件可匀速通过由强酸、强碱、强电、高温、高压环境交替组合而成的电镀全套工艺;钢带抗拉能力强,不断裂,运行稳定,不抖动,使用寿命可达120天以上;由于将弹簧的位置提高到距钢带下边缘12~16mm处,基本不受化学品腐蚀,弹性损失极小,同时采用耐腐蚀能力足够强的爪夹作为夹持钩,其爪夹夹持力强、夹持耐久,能确保加工件不掉片,从而保证了钢带夹持机构夹持力强劲稳定。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型使用状态图。
具体实施方式
下面本实用新型将结合附图中的实施例作进一步描述:
如图1所示:本实用新型主要由五部分组成,其结构是将下端延长并弯折的字母P形爪夹4上端小孔至于弹簧5双扭圈之间,并将连接弹簧5双扭圈的U型抵在字母P形爪夹4腹部,用小轴3穿过双扭圈和爪夹4的小孔,然后将双扭圈上部向前伸出的两条短臂夹在马鞍型的固定片2内侧,同时将小轴3两端嵌入马鞍形固定片2后面的卡槽内,最后将马鞍型固定片2前面翘起的部分穿过钢带1腹板中线位置的横缝,同时向上轻推爪夹4下部,使爪夹4下部夹持钩端跨入钢带1腹板下部方孔,即完成一个钢带夹持机构装配。
集成电路电镀生产线上是由多个钢带夹持机构排列而成,节距为15毫米左右。
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