[实用新型]多级低损耗集成光功率分配器无效
| 申请号： | 200620041983.4 | 申请日： | 2006-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN201000497Y | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 陈谷红 | 申请（专利权）人： | 陈谷红 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200042上海市静安区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多级 损耗 集成 功率 分配器 | ||
【权利要求书】：
1.一种多级低损耗集成光功率分配器，由硅基晶圆，衬垫，波导光芯以及覆盖包层构成，其特征在于：由沉积在硅基晶圆上折射率及厚度不同的二氧化硅衬垫，波导光芯和覆盖包层，构成平面光波导；以带阶梯光栅结构的Y型光分路器为基本单元，构成多级集成光功率分配器。
2.按权利要求1所述的光功率分配器，其特征在于：最底层是硅基晶圆，在其之上依次为二氧化硅衬垫，波导光芯和覆盖包层；衬垫和覆盖包层的折射率略小于波导光芯的折射率；衬垫和覆盖包层的厚度则是波导光芯厚度的三到五倍。
3.按权利要求1所述的光功率分配器，其特征在于：以Y型光分路器为其基本光路单元，按树状分支形式，组合成具有不同分路比的多级光分路结构。
4.按权利要求1所述的光功率分配器，其特征在于：带阶梯形光栅结构的Y型光分路器单元，其光栅由处于Y分叉点，按阶梯状，沿二分叉支路由短到长逐渐向外延伸分布的垂直直线构成。
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