[发明专利]图案形成用玻璃掩模及其制造方法和制造装置

权利要求书

1.一种图案形成用玻璃掩模，其特征在于：

包括重合的多块玻璃板和由至少一块玻璃板保持的图案形成层。

2.如权利要求1所述的图案形成用玻璃掩模，其特征在于：

还包括插入在多块玻璃板之间的透光性部件。

3.如权利要求2所述的图案形成用玻璃掩模，其特征在于：

透光性部件由具有粘接性的材料构成。

4.如权利要求1所述的图案形成用玻璃掩模，其特征在于：

玻璃板由碱石灰玻璃、高变形点玻璃、石英玻璃、合成石英玻璃、硼硅酸玻璃、铝硅酸玻璃、铅玻璃和硼酸盐玻璃中的一种形成。

5.如权利要求1所述的图案形成用玻璃掩模，其特征在于：

图案形成层由含有银盐乳剂、铬和氧化铬中的至少一种材料形成。

6.一种图案形成用玻璃掩模的制造方法，其特征在于，包括：

将至少一块具有图案形成层的多块玻璃板重合浸渍在收容有液状硬化型粘接剂的处理槽中，将所述粘接剂充填在相邻的各两块玻璃板之间，并从处理槽中取出多块玻璃板，以使玻璃板之间的粘接剂硬化的工序。

7.如权利要求6所述的图案形成用玻璃掩模的制造方法，其特征在于：

硬化型粘接剂选自紫外线硬化型环氧树脂、紫外线硬化型丙烯酸树脂、热硬化型丙烯酸树脂和热硬化型环氧树脂中的一种。

8.一种图案形成用玻璃掩模的制造装置，其特征在于，包括：

收容液状硬化型粘接剂的处理槽；

在使第一和第二玻璃板重合并浸渍在处理槽中后，从处理槽中拉起第一和第二玻璃板的搬送部；以及

当第一和第二玻璃板在处理槽中浸渍时，将液状硬化型粘接剂喷射充填至第一和第二玻璃板之间的喷射部。

9.如权利要求8所述的图案形成用玻璃掩模的制造装置，其特征在于：

第一和第二玻璃板中的一方具有预先图案形成层。