[发明专利]减小挠性件变形及凸点分离的磁头折片组合及制造方法

权利要求书

1.一种磁头折片组合，包括：

具有悬臂挠性件的悬臂件，所述悬臂挠性件具有位于该悬臂挠性件上的微致动器安装区域；及

安装于所述悬臂挠性件的微致动器安装区域的微致动器，其中

所述微致动器安装区域上形成至少一个用于增加所述悬臂挠性件强度的支撑板。

2.根据权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：所述至少一个支撑板为金属支撑板。

3.根据权利要求2所述的磁头折片组合，其特征在于：所述至少一个支撑板借助化学蚀刻方法形成。

4.根据权利要求2所述的磁头折片组合，其特征在于：所述压电元件安装区域分为两半部分，所述每半部分具有外边缘，所述压电元件安装区域的每半部分包括一个或多个：与所述压电元件安装区域的底部平行的单个条状支撑板；与所述压电元件安装区域的底部平行的两个互相分离的条状支撑板；与所述压电元件安装区域的边缘对齐的单个条状支撑板；与所述压电元件安装区域的边缘对齐的两个互相分离的条状支撑板；圆形支撑板；矩形支撑板；及/或十字形支撑板。

5.根据权利要求2所述的磁头折片组合，其特征在于：所述压电元件安装区域分为两半部分，所述每半部分具有与一个公共端分开的自由端，所述每个自由端包括支撑板。

6.根据权利要求4所述的磁头折片组合，其特征在于：所述压电元件安装区域的每半部分具有与一个公共端分开的自由端，所述压电元件安装区域的每半部分还具有至少一个位于所述自由端的支撑板。

7.一种磁盘驱动单元，包括：

磁头折片组合；

与所述磁头折片组合连接的驱动臂；

磁盘；及，

用于驱动所述磁盘旋转的主轴马达；其中

所述磁头折片组合包括：

具有悬臂挠性件的悬臂件，所述悬臂挠性件具有位于该悬臂挠性件上的微致动器安装区域；及

安装于所述悬臂挠性件的微致动器安装区域的微致动器，其中

所述微致动器安装区域上形成至少一个用于增加所述悬臂挠性件强度的支撑板。

8.根据权利要求7所述的磁盘驱动单元，其特征在于：所述至少一个支撑板为金属支撑板。

9.根据权利要求8所述的磁盘驱动单元，其特征在于：所述至少一个支撑板借助化学蚀刻方法形成。

10.根据权利要求8所述的磁盘驱动单元，其特征在于：所述压电元件安装区域分为两半部分，所述每半部分具有外边缘，所述压电元件安装区域的每半部分包括一个或多个：与所述压电元件安装区域的底部平行的单各条状支撑板；与所述压电元件安装区域的底部平行的两个互相分离的条状支撑板；与所述压电元件安装区域的边缘对齐的单个条状支撑板；与所述压电元件安装区域的边缘对齐的两个互相分离的条状支撑板；圆形支撑板；矩形支撑板；及/或十字形支撑板。

11.根据权利要求8所述的磁盘驱动单元，其特征在于：所述压电元件安装区域分为两半部分，所述每半部分具有与一个公共端分开的自由端，所述每个自由端包括支撑板。

12.根据权利要求10所述的磁盘驱动单元，其特征在于：所述压电元件安装区域的每半部分具有与一个公共端分开的自由端，所述压电元件安装区域的每半部分还具有至少一个位于所述自由端的支撑板。

13.一种磁头折片组合的制造方法，包括以下步骤：

形成磁头支撑板；

将压电片元件安装到所述磁头支撑板上；

提供悬臂件的挠性件；

将所述挠性件与磁头支撑板连接起来；

形成所述悬臂件的基板、负载杆及枢接件；

通过将所述基板、负载杆、枢接件及挠性件互相安装在一起而形成悬臂件；及

形成至少一个接近压电元件且用于增加所述挠性件强度的支撑板。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于：所述至少一个支撑板为金属支撑板。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于：所述至少一个支撑板借助化学蚀刻方法形成。

16.根据权利要求14所述的方法，其特征在于：所述至少一个支撑板为一个或多个下列结构：单个条形支撑板、两个互相分离的条形支撑板、圆形支撑板、矩形支撑板及/或十字形支撑板。