[发明专利]自动化物料传送系统有效
申请号: | 200610160792.4 | 申请日: | 2006-12-01 |
公开(公告)号: | CN101190748A | 公开(公告)日: | 2008-06-04 |
发明(设计)人: | 王惟正 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B65G37/00 | 分类号: | B65G37/00;B65G35/00;H01L21/677;H01L21/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动化 物料 传送 系统 | ||
技术领域
本发明是有关于一种自动化物料传送系统,特别是有关于一种可提升运送效率的自动化物料传送系统。
背景技术
一般来说,自动化物料传送系统(automated materialhandling system,AMHS)已被广泛地应用于半导体厂之中,其可用来输送制程产品等。为了符合消防法规需求,在自动化物料传送系统之中通常必须建立多个防火区隔(fire separationarea),以防止当半导体厂内的某一区域发生火灾时,其火势会经由自动化物料传送系统而蔓延于整个半导体厂之内。
请参阅图1A及图1B,一已知的自动化物料传送系统1主要包括有一防火通道10、两平行的轨道20、多个输送车30(图1A及图1B中仅显示一输送车30)以及多个防火门(fire shutter)40。
两平行的轨道20皆是设置于防火通道10之中,并且具有多个彼此平行的间隙21。
输送车30是运行于轨道20之上。更详细的来说,输送车30具有多个车轮31,而输送车30即是通过车轮31而运行于轨道20之上。此外,输送车30可以是OHT(Overhead Hoist Transporter)或OHS(Overhead Shuttle)的形式。在此,输送车30是以OHT的形式来做说明。
防火门40是以可移动的方式设置于防火通道10的外部,并且防火门40是与轨道20的间隙21对应。更详细的来说,当自动化物料传送系统1接收到火警信号时,多个(或某一个)防火门40便会立即依图1B中的箭头A所示的方向来朝向防火通道10的内部移动,并且多个防火门40会通过轨道20的间隙21,以在自动化物料传送系统1或防火通道10中建立彼此密闭的防火区隔。
然而,自动化物料传送系统1会具有以下的缺点。当防火门40是位于防火通道10的外部时(亦即当自动化物料传送系统1并未接收到火警信号时),轨道20上的间隙21会影响输送车30的行进。也就是说,输送车30的车轮31在行进于间隙21上时会产生剧烈的碰撞震动,因而易使得输送车30上所载运的制程产品遭受损坏或使得输送车30发生故障,进而会增加制造或维护成本。如上所述,为了避免输送车30在行进于间隙21上时会产生剧烈的碰撞震动,故输送车30在行进于间隙21上时的速度必须大幅降低(例如,将输送车30的速度从3.5m/sec降低至0.4m/sec)。然而,输送车30的速度大幅降低却又常会造成输送车30阻塞于轨道20上,进而会影响制程产品的运送效率。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的是要提供一种自动化物料传送系统,其不但可符合消防法规需求,还可提升制程产品的运送效率。
本发明基本上采用如下所详述的特征以为了要解决上述的问题。也就是说,本发明包括一防火通道;一第一轨道,设置于该防火通道之中,并且具有至少一第一间隙;一第二轨道,设置于该防火通道之中,并且是平行于该第一轨道,其中,该第二轨道具有至少一第二间隙,以及该第二间隙是对应并平行于该第一间隙;至少一输送车,是以移动的方式设置于该第一轨道及该第二轨道之上,并且具有至少一第一车轮及至少一第二车轮,其中,该第一车轮及该第二车轮是分别滚动于该第一轨道及该第二轨道之上,以及该第一间隙及该第二间隙是分别以一预定角度倾斜于该第一车轮的轮轴及该第二车轮的轮轴;以及至少一防火门,是以移动的方式连接于该防火通道,并且是选择性地通过该第一间隙及该第二间隙,用以在该防火通道中建立密闭的防火区隔。
本发明所述的自动化物料传送系统,该第一车轮的长度是大于该第一间隙的水平宽度,以及该第二车轮的长度是大于该第二间隙的水平宽度。
本发明所述的自动化物料传送系统,该第二间隙是对应并平行于该第一间隙。
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