[发明专利]废胶剥除装置有效
申请号: | 200610145799.9 | 申请日: | 2006-11-21 |
公开(公告)号: | CN101190556A | 公开(公告)日: | 2008-06-04 |
发明(设计)人: | 张云龙;李金松;张嘉铭;蔡育章 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | B29C37/00 | 分类号: | B29C37/00;B29C35/16;B29C45/38;H01L21/56 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁挥;徐金国 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 剥除 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种废胶剥除装置,特别是涉及一种能够快速且均匀冷却废胶胶体温度的废胶剥除装置。
背景技术
在集成电路芯片(Integrated Circuit Chip;IC chip)的制作过程中,当用以执行讯号运算的晶粒(Die)固定并电性连接在晶粒载板(Substrate)上或是导线架(Lead frame)后,皆须再进行一封胶制程(Molding Process),以封装胶体包覆住晶粒,保护晶粒不受外力的毁损。
举例来说,以一球格数组封装结构(Ball Grid Array Package;BGAPackage)为例,将复数个晶粒以矩阵排列方式,固定在一晶粒载板,并以金线连接此些晶粒与晶粒载板各自的讯号端后,即会进行封胶制程。
此封胶制程将复数片(一般为两片)承载有晶粒的晶粒载板,对称放置在封胶模具的模穴中。当封胶模具合模时,封胶模具与晶粒载板之间尚会预留有空隙,作为注胶道(Runner)与注胶口(Gate)。而封胶模具的中央处可放置胶粒,当胶粒受热熔融,并受到挤压时,即会形成胶流,经由注胶道与注胶口,注入至模穴中,包覆住晶粒以及晶粒载板的表面。在胶流冷却后,即会固化成型。
请参阅图1,其为晶粒载板在进行封胶制程后的示意图。如图所示,位于两晶粒载板10之间的胶粒,在熔融后受到挤压时,会形成胶流,经由注胶道与注胶口流入至晶粒载板上。当胶流固化成型后,会形成复数个封胶区域11、复数个胶道区域12、复数个注胶口区域13以及复数个胶粒渣14。
而当封胶制程完成后,除了封胶区域11以外,包括胶道区域12、注胶口区域13以及胶粒渣14等区域,皆是属于多余的废胶(Cull),需借助一去胶的程序(Degating),将这些废胶加以剥除。
此去胶程序的主要工作原理为:将晶粒载板与废胶其中一者固定后,使两者之间产生相对运动,而使废胶与晶粒载板脱离。
举例来说,请参阅图2,如图所示,可将两晶粒载板固定后,以一顶柱组15推挤位于两晶粒载板之间的胶粒渣14,使胶粒渣14,以及与胶粒渣14相连接的胶道区域12、注胶口区域13,一并自晶粒载板10上剥离。
而需要特别加以说明的是,当封胶制程完成后,即使胶流已经固化了,但胶体温度仍是相当高,在进行去胶程序时,注胶口区域13容易残留在晶粒载板10上。因此在将废胶剥离前,皆须先将废胶温度降低至一定温度后,才能顺利予以剥除。
为此,如何有效且快速的降低废胶的胶体温度,以顺利完成去胶的程序,一直以来,皆是熟悉此项技艺者所致力之方向。
发明内容
本发明的目的在于提出一种废胶剥除装置,可在剥除废胶时,迅速且均匀的冷却胶体的温度,以解决现有技术的问题。
本发明的废胶剥除装置可用以剥除位在两封装载体(chip carrier)之间的废胶。此两封装载体可能为晶粒载板、导线架、软性基板、或其它各式用以搭载晶粒进行封装之载体。废胶剥除装置包括一下模、一上模、一气流吹口以及一冷却管路。下模用以置放封装载体,且具有一顶柱组,用以承抵废胶。上模可与下模密合,当两封装载体置放在下模后,即可透过上模与下模的合模,将封装载体加以固定于两者之间,并可借助改变顶柱组相对于上模及下模的位置,将废胶自封装载体上剥离。气流吹口设置于废胶剥除装置的上模或是下模中,可吹出气流降低封装载体周围的温度。冷却管路依据气流吹口的位置埋设,可埋设于上模或是下模的内部,用以冷却气流吹口的温度。
本发明的废胶剥除装置除可以气流吹口所吹出的气流降低胶体温度,并可借助冷却管路稳定的维持气流吹口的温度,防止废胶剥除装置在长期作业后,温度升高所带来的不良影响。
本发明之目的特征及优点将以实施例结合附图进行详细说明。
附图说明
图1为晶粒载板在进行封胶制程后的示意图;
图2为一去胶程序的示意图;
图3为本发明揭露的废胶剥除装置第一实施例的示意图;
图4为第一实施例的上模的仰视图;
图5为本发明揭露的废胶剥除装置第二实施例的下模俯视图。
具体实施方式
请参阅图3,其为本发明揭露的废胶剥除装置第一实施例的示意图。在此以一球格数组封装结构的去胶程序为例,作为详细说明,但并不仅限于此,本发明仍可运用实施在各式封装结构的去胶程序。
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