[发明专利]一种用于超高功率脉冲非平衡磁控溅射的电源方法无效
| 申请号： | 200610134219.6 | 申请日： | 2006-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN1948547A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 牟宗信;王振伟;贾莉;李国卿;赵华玉;张鹏云 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H03K3/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 侯明远;李宝元 |
| 地址： | 116024辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 超高 功率 脉冲 平衡 磁控溅射 电源 方法 | ||
【权利要求书】：
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