[发明专利]排气装置的控制阀、排气装置和排气方法无效
| 申请号： | 200610118780.5 | 申请日： | 2006-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN101191564A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 张骥 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | F16K17/00 | 分类号： | F16K17/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王素萍 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 排气装置 控制 排气 方法 | ||
1.一种排气装置的控制阀，包括腔体(10)，其特征在于，所述腔体(10)具有设在腔体(10)内的一端且可弹性伸缩的波纹管(11)、与所述波纹管(11)固定连接并且一起作弹性伸缩的密封盖(12)、与所述密封盖(12)的端面相通的进气腔体(13)、以及在所述波纹管(11)和所述密封盖(12)的长度方向垂直设置并且相互连通的排气腔体(14)。
2.根据权利要求1中所述的排气装置，其特征在于，所述波纹管(11)采用金属材料，所述密封盖(12)也采用金属材料。
3.一种排气装置，其特征在于，该装置包含工作室(20)、与所述工作室(20)相互连通的充气机构(21)和权利要求1或2所述的控制阀(1)，控制阀(1)内部的腔体(10)一端与所述工作室(20)相互连通，另一端与真空泵(22)连接。
4.一种排气方法，其特征在于，用于权利要求3中所述的排气装置，该方法包含如下步骤：
进气腔体(13)内的气流高温冲击式地流入到所述密封盖(12)的端面后，所述波纹管(11)和所述密封盖(12)收缩的情况下，将所述气流从所述排气腔体(14)排出的排气步骤；
在所述充气机构(21)向所述工作室(20)充气时，所述波纹管(11)和所述密封盖(12)把所述真空泵(22)隔离的隔离步骤；
关闭所述充气机构(21)向所述工作室(20)充气时，所述真空泵(22)对所述工作室(20)进行抽真空的抽真空步骤；以及
在半导体器件制造过程中所述控制阀(1)不间断地连续工作的步骤。
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