[发明专利]等离子体溅射靶材装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种等离子体溅射靶材装置及其制造方法，特别是指在溅射靶的粘着层与靶材接触的一侧形成颗粒或在背板上形成多数突起物。

背景技术

传统上防止过溅射方法一般都仰赖人工对靶材作定期目视检查，但此法的缺点是太仰赖人力，且因人为关系容易造成靶材击穿的情形很高，所以大都无法符合溅射所要的条件需求，另一公知方法是在背板与靶材之间加入一气囊，当靶材过溅射情形发生之前，此气囊会在真空中爆破而使溅射制程中断，此法虽可防止过溅射的情形发生却会在真空中的情形下造成突然的压力上升导致温度的急遽变化，进而形成溅射腔体的变形或损坏。而其另一公知方法则是在靶材与背板之间加入一层介电质，当此介电质暴露于等离子体下时因介电质本身不导电，故电荷会累积在此介电质上，引发异常放电现象，再借助检测异常放电所产生的光信号及电磁信号变化来做为切断电源的动作，因背板本身即具有传导电流至靶材以及对靶材进行冷却的作用，且介电质的导电性及导热性均不如金属背板佳，故对于溅射形成的薄膜而言有不良影响。此法缺点是在靶材与背板之间加入介电质将会影响背板对靶材的冷却效率及背板与靶材之间的导电率，并进而影响制作流程的稳定性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种等离子体溅射靶材装置，借此防止过溅射情形发生，避免背板击穿。

为了实现上述目的，本发明提供了一种等离子体溅射靶材装置，包含：一靶材；一粘着层，该粘着层具有多数颗粒(partical)，且粘着层具有一第一侧与一第二侧，第一侧与靶材粘着；以及一背板，背板与粘着层的第二侧粘着。

为了实现上述目的，本发明提供了一种等离子体溅射靶材装置，包含：一靶材；一粘着层，粘着层具有一第一侧与一第二侧，第一侧与靶材粘着；以及一背板，背板具有多数突起物，背板与粘着层的第二侧粘着。

为了实现上述目的，本发明提供了一种等离子体溅射靶材装置的制造方法，其包含下列步骤：提供一靶材；提供一粘着层，粘着层具有多数颗粒，且粘着层具有一第一侧与一第二侧，粘着层的第一侧与靶材粘合；提供一背板，背板上形成多数突起物且该些突起物高度不高于粘着层；以及粘合背板与粘着层的第二侧。

粘着层设置于背板与靶材之间，粘着层与靶材接触的一侧设置有颗粒或在背板上以一体成形方式形成多数突起物，利用此方式可将靶材与背板暴露于等离子体中形成过溅射情形的初即引发异常放电现象，借助检测该现象实时切断电源，避免背板击穿。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为依据本发明的第一实施例的形成一种等离子体溅射靶材装置的示意图；

图2为依据本发明的第二实施例的形成一种等离子体溅射靶材装置的示意图；

图3为依据本发明的第三实施例的形成一种等离子体溅射靶材装置的示意图；

图4为本发明的一种形成等离子体溅射靶材装置制造方法的流程图。

其中，附图标记：

10    靶材

20    背板

30    粘着层

31    第一侧

32    第二侧

40    颗粒

50    突起物

步骤S10    提供一靶材

步骤S20    提供一粘着层

步骤S30    提供一背板

步骤S40    粘合背板与粘着层的第二侧

具体实施方式