[发明专利]防止静电聚集的玻璃基板载具

说明书

技术领域

本发明属于一种玻璃基板载具，尤指一种防止静电聚集的玻璃基板载具。

背景技术

轻薄的液晶屏幕已成为时下的主流商品，普遍应用于各种场合之中。

液晶屏幕的核心元件为玻璃基板，在液晶面板的制造过程中，必须在玻璃基板上制作薄膜晶体管及相关线路，其中的黄光制造过程即是在玻璃基板上涂布一层均匀的光刻胶，接着在后续步骤中配合光掩膜在光刻胶层上形成电路图案，以便能进行曝光显影等后续步骤。

目前在玻璃基板上涂布光刻胶的方式是先令该玻璃基板设放置于一旋转式光刻胶涂布机上，接着在玻璃基板中心滴上适量的光刻胶液，接着启动光刻胶涂布机以高速旋转玻璃基板，使光刻胶液受到离心力作用而径向向外扩散至涂满整个玻璃基板上表面，同时凝固。

通常光刻胶涂布完成后，在玻璃基板边缘会留有过度扩散而凝固的光刻胶液所形成的毛边，因此必须利用一载具将光刻胶涂布机上的玻璃基板运送到一毛边去除机上，以毛边去除机来去除毛边，该载具主要在一可水平移动的基架上突伸有二相向的水平托架，各托架上设置有多个衬垫，各托架通过管线而连接一真空泵，令衬垫可提供真空吸力来吸附玻璃基板，令玻璃基板牢固在托架上而可被载具运送到毛边去除机。

当载具将玻璃基板运送到达毛边去除机而令玻璃基板脱离衬垫瞬间，该衬垫上产生的静电可达15-16千伏特(Kilovolt，KV)，并将损坏玻璃基板上半导体元件及线路，严重时可能造成玻璃基板整个报废，因此大大降低了玻璃基板的良率。

本发明人鉴于现有载具与玻璃基板脱离瞬间容易产生高压静电而损坏玻璃基板上原有半导体元件及线路的缺点，改进其不足与缺失，进而发明出一种可有效排放聚集静电的玻璃基板载具。

发明内容

本发明的目的在于提供一种防止静电聚集的玻璃基板载具，其可避免过量静电聚集于载具与玻璃基板相接触的部位，进而防止玻璃基板脱离载具的瞬间，高量静电损坏玻璃基板上电路元件，有效提高玻璃基板的良率。

本发明的目的是这样实现的，一种防止静电聚集的玻璃基板载具，包含有：

一基架，是接地而可水平移动，在基架上形成有二直立座，该等直立座为导体，在各直立座上分别水平突伸有二相对的ㄇ形托架，该等托架为导体，各托架末端的两侧分别突伸有至少一承托部，该等承托部为导体；

多个衬垫，分别设置在承托部上，具有弹性且为导体；由此，衬垫、承托部、托架及直立座构成一静电排放路径，可避免过量静电聚集而伤害置放在载具上的玻璃基板电路。

前述衬垫是由含碳材料构成而具备导电特性。

前述各衬垫含有石墨而具备导电特性。

前述各衬垫含有金属而具备导电特性。

前述各衬垫的电阻为103-105欧姆(Ω)/平方(ohms/s q)。

前述各承托部上贯穿形成有一贯孔，各衬垫上贯穿形成有一与相对应贯孔连通的穿孔，由此可令承托部通过管线而外接一真空泵，以便令衬垫产生真空吸力。

前述各承托部顶面分别形成有一容纳相对应衬垫的固定槽。

前述各衬垫是由一下衬垫、一O形环及一上衬垫所组成，该下衬垫为环形，设置在相对应承托部的固定槽内，在下衬垫内壁形成有一内环形突缘，该O形环设置在下衬垫内，在O形环外壁上形成有一与内环形突缘相扣合的外环形突缘，该上衬垫穿套在O形环顶部，在上衬垫上贯穿形成有至少一与承托部贯孔相连通的通孔。

由上述技术手段，各衬垫、承托部、托架及直立座所构成的静电排放路径，可避免静电聚集于衬垫与玻璃基板之间，故当玻璃基板脱离衬垫时，不会有过量静电损坏玻璃基板上的原有电路，由此可避免玻璃基板报废，因而能提升玻璃基板良率及降低玻璃基板成本。

附图说明

图1：本发明与光刻胶涂布机及毛边去除机的立体外观图。

图2：本发明衬垫的立体分解图。

图3：本发明衬垫的侧视剖面图。

附图标号：

10基架           11托架

12承托部         121贯孔

123固定槽        15直立座

20衬垫           21下衬垫

211内环形突缘    230形环

231外环形突缘    25上衬垫

251通孔          80光刻胶涂布机

90毛边去除机

具体实施方式