[发明专利]防止静电聚集的玻璃基板载具

权利要求书

1.一种防止静电聚集的玻璃基板载具，其特征在于包含有：

一基架，其接地而可水平移动，在基架上形成有二直立座，该等直立座为导体，在各直立座上分别水平突伸有二相对的ㄇ形托架，该等托架为导体，各托架末端的两侧分别突伸有至少一承托部，该等承托部为导体；

多个衬垫，分别设置在承托部上，具有弹性且为导体；由此，衬垫、承托部、托架及直立座构成一静电排放路径，可避免过量静电聚集而损害置放在载具上的玻璃基板。

2.如权利要求1所述的防止静电聚集的玻璃基板载具，其特征在于：各衬垫含有含碳材料而具备导电性。

3.如权利要求1所述的防止静电聚集的玻璃基板载具，其特征在于：各衬垫含有石墨而具备导电性。

4.如权利要求1所述的防止静电聚集的玻璃基板载具，其特征在于：各衬垫含有金属而具备导电性。

5.如权利要求1至4任一项所述的防止静电聚集的玻璃基板载具，其特征在于：各衬垫的电阻为103-105欧姆/平方。

6.如权利要求1至4任一项所述的防止静电聚集的玻璃基板载具，其特征在于：各承托部上贯穿形成有一贯孔，各衬垫上贯穿形成有一与相对应贯孔连通的穿孔，由此可令承托部通过管线而外接一真空泵，以便令衬垫产生真空吸力。

7.如权利要求1至4任一项所述的防止静电聚集的玻璃基板载具，其特征在于：各承托部顶面分别形成有一容纳相对应衬垫的固定槽。

8.如权利要求7所述的防止静电聚集的玻璃基板载具，其特征在于：各衬垫是由一下衬垫、一O形环及一上衬垫所组成，该下衬垫为环形，设置在相对应承托部的固定槽内，在下衬垫内壁形成有一内环形突缘，该O形环设置在下衬垫内，在O形环外壁上形成有一与内环形突缘相扣合的外环形突缘，该上衬垫穿套在O形环顶部，在上衬垫上贯穿形成有至少一与承托部贯孔相连通的通孔。