[发明专利]薄膜图案层制造方法

权利要求书

1.一种薄膜图案层的制造方法，其包括以下步骤：

提供一个基板；

在该基板上形成多个挡墙，该挡墙与基板限定多个收容空间；

通过喷墨头将所需的墨水喷入收容空间内，并且使用至少两个喷嘴对同一个收容空间喷墨；

干燥固化收容空间中的墨水而形成薄膜图案层。

2.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述基板材料选自玻璃、石英玻璃、硅晶片、金属或塑料。

3.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述挡墙是由树脂材料组成。

4.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述挡墙是通过光罩对光阻材料层曝光显影形成。

5.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述对同一个收容空间喷墨的喷嘴是设置在同一喷墨头上。

6.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述喷墨步骤包括下列分步骤：

所述喷墨头中第一喷嘴对一收容空间喷墨；

所述喷墨头朝着该收容空间水平移动；

所述喷墨头中第二喷嘴对该收容空间喷墨。

7.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述喷墨步骤包括下列分步骤：

所述喷墨头沿着第一方向移动；

所述喷墨头中第一喷嘴对一收容空间喷墨；

所述喷墨头继续沿着第一方向移动；

所述喷墨头移动到该收容空间的一侧后，再沿着与第一方向垂直的第二方向移动喷墨头；

当所述喷墨头中的第二喷嘴移动到与该收容空间在同一直线后，所述喷墨头沿着第一方向的反方向移动，第二喷嘴再对该收容空间喷墨。

8.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述对同一个收容空间喷墨的喷嘴是分别设置在第一、第二喷墨头上。

9.如权利要求8所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述喷墨步骤包括下列分步骤：

所述第一、第二喷墨头沿着第一方向移动；

所述第一喷墨头中第一喷嘴对一收容空间喷墨；

所述第一、第二喷墨头沿着第一方向移动；

所述第一、第二喷墨头移动到该收容空间的一侧后，再沿着与第一方向垂直的第二方向移动第一、第二喷墨头；

当所述第二喷墨头中的第一喷嘴移动到与该收容空间在同一直线后，所述第一、第二喷墨头沿着第一方向的反方向移动，所述第二喷墨头中的第一喷嘴对该收容空间喷墨。

10.如权利要求8所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述第一、第二喷墨头为同一型号的喷墨头。

11.如权利要求8所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述第一、第二喷墨头为不同型号的喷墨头。

12.如权利要求8所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述第一、第二喷墨头之间的相对位置固定。

13.如权利要求8所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述第一、第二喷墨头相对运动且互不影响。

14.如权利要求8所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述第一、第二喷墨头是设置在同一机台上。

15.如权利要求8所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述第一、第二喷墨头是分别设置在不同的机台上。

16.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，喷墨头可选用热泡式或压电式。

17.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述干燥固化步骤采用一抽真空装置、一加热装置或一发光装置，将收容空间内的墨水进行干燥固化，或者采用上述三者方式的任两种或三种，发光装置包括紫外光发光照射装置。

18.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，所述干燥固化步骤之后进一步包括一步骤：在该基板上形成覆盖挡墙及薄膜图案层的一导电层。