[发明专利]面板蚀刻制程的方法及其装置

权利要求书

1、一种面板蚀刻制程的方法，用以在面板上形成所需图案及/或用来进行面板的薄型化制程，其利用蚀刻溶剂与面板之间进行的化学反应来去除面板上所欲去除的材料，其特征在于，进行蚀刻制程的步骤包含：

提供一工作槽；

将欲蚀刻加工的面板平置地固设于该工作槽中；

对该工作槽中提供足以沉浸该面板的蚀刻液，进行蚀刻；

在蚀刻进程中，使该槽体以呈向一侧倾斜并作圆锥形旋转运动，以令槽中的蚀刻液顺沿槽体倾斜旋动而流动；以及

自该工作槽中分离蚀刻液后，取出已完成蚀刻加工的面板。

2、一种面板蚀刻制程的装置，可用以在面板上形成所需图案及/或用来进行面板的薄型化制程，其利用蚀刻溶剂与面板之间进行的化学反应来去除面板上的材料，其特征在于，该蚀刻制程的装置至少包含：

一工作槽，内设有固持单元可将面板平置固设于槽中；

一蚀刻液进给单元，具有连通于该工作槽的溶液排放管道，可对该工作槽提供足以沉浸该面板的蚀刻液，并收纳自该工作槽排出的蚀刻液；以及

一旋晃驱动单元，具一基座可与前述工作槽底面固结，在该基座底面串接一轴杆，并于该轴杆下端枢接于一马达的旋转臂，且该轴杆中段部位设有一限定套；利用将面板平置固设于该工作槽中，并由该蚀刻液进给单元对该工作槽中提供足以沉浸该面板的蚀刻液，于蚀刻的进程中，通过由该旋晃驱动单元使该槽体以呈向一侧倾斜并作圆锥形旋转运动，使槽中的蚀刻液顺沿槽体倾斜旋动而流动，据此促进蚀刻均匀度，并提升蚀刻加工的效率。

3、如权利要求2所述的面板蚀刻制程的装置，其特征在于，所述该工作槽中更可包含有复数组彼此呈上下及/或彼此平行并列的固持单元，且令各个固持单元间彼此保持有间隙距离。

4、如权利要求2或3所述的面板蚀刻制程的装置，其特征在于，所述该固持单元还包含至少一组设于该工作槽一槽墙内侧面上的固定夹头，以及至少一组设在另一对应槽墙内侧面上的活动夹头。

5、如权利要求4所述的面板蚀刻制程的装置，其特征在于，所述该固定夹头与活动夹头的端部均设具一V形凹槽。

6、如权利要求2所述的面板蚀刻制程的装置，其特征在于，所述该蚀刻液进给单元更包含一循环过滤器，将自该工作槽中收取的蚀刻液进行过滤净化处理。