[发明专利]溅镀装置及溅镀方法

权利要求书

1.一种溅镀装置，其包括溅镀腔体，该溅镀腔体内设有第一溅射靶、第二溅射靶、底座转盘及多对承载台；该第一溅射靶与该底座转盘的上表面呈相对设置，该第二溅射靶环绕该底座转盘设置；该底座转盘与一转动装置相连，该转动装置用以驱动该底座转盘绕底座转盘中心旋转；该多对承载台设于底座转盘的上表面，每对承载台通过一连接杆相连，该连接杆与一驱动装置相连以驱动连接杆连接的两个承载台绕连接杆的中心点旋转。

2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述第一溅射靶和第二溅射靶与一连接控制开关相连，以切换第一溅射靶接地、第二溅射靶与溅镀电源的阴极相连，或者第一溅射靶与溅镀电源的阴极相连、第二溅射靶接地两种状态。

3.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述多对承载台均匀分布在所述底座转盘上表面的圆周。

4.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述第二溅射靶环绕该底座转盘紧附于所述溅镀腔体内壁，为一环状溅射靶或一溅射靶组。

5.如权利要求4所述的溅镀装置，其特征在于，所述溅射靶组包括多个呈弧形的溅射靶，其均匀分布并紧附于所述溅镀腔体内壁。

6.一种溅镀方法，其包括以下步骤：提供一溅镀装置，将待镀覆工件放置于底座转盘的多对承载台上，并将第一溅射靶固定在溅镀腔体内的顶部与底座转盘的上表面呈相对设置，将第二溅射靶环绕该底座转盘紧附于溅镀腔体的内壁；向溅镀腔体内通入溅镀气体；驱动底座转盘绕底座转盘中心旋转，同时驱动每个连接杆连接的两个承载台绕连接杆中心点旋转；将第一溅射靶与溅镀电源的阴极相连，并将第二溅射靶接地，在待镀覆工件面对于第一溅射靶的表面镀膜；将第二溅射靶与溅镀电源的阴极相连，并将第一溅射靶接地，在待镀覆工件面对于第二溅射靶的表面镀膜。

7.如权利要求6所述的溅镀方法，其特征在于，所述第一溅射靶和第二溅射靶与一连接控制开关相连，通过调节该连接控制开关，切换第一溅射靶接地、第二溅射靶与溅镀电源的阴极相连，或者第一溅射靶与溅镀电源的阴极相连、第二溅射靶接地两种状态。

8.如权利要求6所述的溅镀方法，其特征在于，镀膜过程中，底座转盘以固定转速旋转。

9.如权利要求6所述的溅镀方法，其特征在于，镀膜过程中，每个连接杆连接的两个承载台在驱动装置的驱动下绕连接杆的中心点旋转以固定频率互换位置。