[发明专利]机械手监控和自动复位系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种自动监控和控制系统，特别是指一种机械手监控和自动复位系统。

背景技术

一种模拟人手操作的自动机械手，他可按固定程序抓取，搬运物件或操持工具完成某些特定操作，机械手可以代替人从事单调、重复或繁重的体力劳动，实现生产的机械化和自动化，代替人在有害环境下的手工操作，改善劳动条件，保证人身安全。随着科技的发展，机械手广泛用于机械制造，冶金，轻工和原子能等部门。

目前，机械手作为一种高端设备应用于半导体加工行业，代替人工进行工件的搬运，它广泛应用于先进的工业生产流水线上，具有操作便利、高速、平稳、提高劳动生产率等优点。

但是，在半导体设备当中的应用，存在着机械手偏移导致硅片划伤的隐患，而此种隐患在目前的技术手段下无法事前预知和控制.一旦发生划伤受害面将非常之大。

因此，在此技术领域中，需要一种机械手监控和自动复位系统，可以有效监控机械手位置的偏差，同时对偏差量进行分析和判断并做出报警或对偏差进行自动调整。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种机械手监控和自动复位系统，它可以检测机械手伸入片盒时与上下硅片的距离，防止在操作过程中硅片的划伤。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种机械手监控和自动复位系统，包括：设备主控制系统，发出搬送硅片的传动信号使机械手开始运作；机械手，把到位信号反馈给所述设备主控制系统；光信号发射器，接收设备主控制系统发出的机械手到位信号，发出一列光信号；光信号接收器，检测光信号发射器发出的光信号；数据分析判断模块，根据光接收信号器的数据进行处理和判断，并把判断信号反馈到所述设备主控制系统。

所述设备主控制系统，接收所述数据模块反馈的报警信号、正常作业信号或补正信号后，发出报警、正常作业或补正指令。

所述数据分析判断模块，根据接收到的偏差量，先判断是否超过异常报警的预定值，根据判断，发出报警信号或正常作业信号反馈给设备主控制系统，所述设备主控制系统发出报警或正常作业的指令；同时，所述数据分析判断模块继续与各标准进行比对或运算，并调用其它片盒数据进行分析和判断后发现异常时，再次发出补正信号反馈给设备主控制系统，所述设备主控制系统发出补正指令。

所述数据分析判断模块，判断发出报警信号的标准有：1枚发生大于Zmax时，发出紧急停机报警信号；或连续5枚发生同一方向的偏差量大于Z2时；发出报警信号；或同片盒中有3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同向偏差但与前3枚是反方向偏差时，发出报警信号；或连续5盒每盒都出现4枚或4枚以上超过Z1且是同向偏差，而另有4枚或4枚以上超过Z1且同向偏差但与前几枚是反方向偏差时，发出报警信号；或如发现机械手的厚度与测得的值Wrx偏差较大时，发出停机报警信号；或发现硅片的厚度与测得的值Wx偏差较大时，发出停机报警信号。

所述数据分析判断模块，判断发出补正信号的标准有：如连续3盒中每盒都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向偏差而其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将3盒中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号；或如果20盒制品中出现5盒都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向偏差而同片盒中的其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将5盒中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号；或如果连续3盒中都有10枚以上发生偏差超过Z1且是同向偏差而同片盒中的其它硅片无反向偏差超Z1时，此时数据分析判断模块将3盒中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号。

采用上述系统后，检测机械手伸入片盒时与上下硅片的距离，有效监控机械手位置的偏差，同时对偏差量进行分析和判断并做出报警或对偏差进行自动调整的补正指令。

附图说明

下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1是本发明机械手监控和自动复位系统的工作流程图；

图2是本发明机械手监控和自动复位系统的工作示意图；

图3是光信号接收器与光信号发射器与机械手的相对位置示意图。

具体实施方式