[发明专利]机械手监控和自动复位系统

权利要求书

1.一种机械手监控和自动复位系统，其特征在于，包括：

设备主控制系统，发出搬送硅片的传动信号使机械手开始运作；

机械手，把到位信号反馈给所述设备主控制系统；

光信号发射器，接收设备主控制系统发出的机械手到位信号，发出一列光信号；

光信号接收器，检测光信号发射器发出的光信号；

数据分析判断模块，根据光接收信号器的数据进行处理和判断，并把判断信号反馈到所述设备主控制系统。

2.如权利要求1所述的机械手监控和自动复位系统，其特征在于，所述设备主控制系统，接收所述数据模块反馈的报警信号、正常作业信号或补正信号后，发出报警、正常作业或补正指令。

3.如权利要求1或2所述的机械手监控和自动复位系统，其特征在于，所述数据分析判断模块，根据接收到的偏差量，先判断是否超过异常报警的预定值，根据判断，发出报警信号或正常作业信号反馈给设备主控制系统，所述设备主控制系统发出报警或正常作业的指令；同时，所述数据分析判断模块继续与各标准进行比对或运算，并调用其它片盒数据进行分析和判断后发现异常时，再次发出补正信号反馈给设备主控制系统，所述设备主控制系统发出补正指令。

4.如权利要求1或2或3所述的机械手监控和自动复位系统，其特征在于，所述数据分析判断模块，判断发出报警信号的标准有：1枚发生大于Zmax时，发出紧急停机报警信号；或连续5枚发生同一方向的偏差量大于Z2时，发出报警信号；或同片盒中有3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同向偏差但与前3枚是反方向偏差时，发出报警信号；或连续5盒每盒都出现4枚或4枚以上超过Z1且是同向偏差，而另有4枚或4枚以上超过Z1且同向偏差但与前几枚是反方向偏差时，发出报警信号；或如发现机械手的厚度与测得的值Wrx偏差较大时，发出停机报警信号；或发现硅片的厚度与测得的值Wx偏差较大时，发出停机报警信号。

5.如权利要求1或2或3所述的机械手监控和自动复位系统，其特征在于，所述数据分析判断模块，判断发出补正信号的标准有：如连续3盒中每盒都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向偏差而其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将3盒中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号；或如果20盒制品中出现5盒都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向偏差而同片盒中的其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将5盒中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号；或如果连续3盒中都有10枚以上发生偏差超过Z1且是同向偏差而同片盒中的其它硅片无反向偏差超Z1时，此时数据分析判断模块将3盒中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号。