[发明专利]半导体芯片的安装结构体和其制造方法无效
申请号: | 200580044603.0 | 申请日: | 2005-12-28 |
公开(公告)号: | CN101088161A | 公开(公告)日: | 2007-12-12 |
发明(设计)人: | 中村浩二郎;西川英信;熊泽谦太郎 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L25/065 | 分类号: | H01L25/065;H01L21/60;H01L23/52;H01L25/07;H01L25/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 沈昭坤 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 芯片 安装 结构 制造 方法 | ||
1.一种半导体芯片的安装结构体,其特征在于,
具有:
设置在基板上表面(1a)上的多个上表面焊盘(2a);夹住基板(1)并使其分别与上表面焊盘(2a)对应且设置在基板下表面(1b)上的多个下表面焊盘(2b);有与所述上表面焊盘(2a)接合的第1凸点(8a)的第1半导体芯片(4);以及有与所述下表面焊盘(2b)接合的第2凸点(8b)的第2半导体芯片(5),
在所述半导体芯片(4、5)上设置不与布线电路连接的非导通焊盘(7c、7d),并在该非导通焊盘(7c、7d)和基板(1)之间接合隔件,
所述隔件由空凸点(18)、或者空焊盘(20)、或者空凸点(18)和空焊盘(20)的组合构成。
2.如权利要求1中所述的半导体芯片的安装结构体,其特征在于,
基板(1)是厚度为0.15mm以下的加入填充剂的硬质型基板。
3.一种半导体芯片的安装结构体的制造方法,其特征在于,
在具有设置在基板上表面(1a)上的多个上表面焊盘(2a)、以及夹住基板(1)并使其分别与上表面焊盘(2a)对应且设置在基板下表面(1b)上的多个下表面焊盘(2b)的基板上,暂时固定具有接合第1凸点(8a)的多个第一电极焊盘(7a)的第1半导体芯片(4),并对各第1凸点(8a)与各上表面焊盘(2a)进行对准位置,同时在基板(1)上暂时固定具有接合第2凸点(8b)的多个第二电极焊盘(7b)的第2半导体芯片(5),并对各第2凸点(8b)与各下表面焊盘(2b)进行对准位置,再分别向着基板(1)对所述第1和第2半导体芯片(4、5)进行加压并加热,在所述半导体芯片(4、5)上设置不与布线电路连接的非导通焊盘(7c、7d),并在该非导通焊盘(7c、7d)和基板(1)之间接合隔件,所述隔件由空凸点(18)、或者空焊盘(20)、或者空凸点(18)和空焊盘(20)的组合构成。
4.一种半导体芯片的安装结构体,其特征在于,
该半导体芯片的安装结构体具有:
含有多个第一电极焊盘(7a)和不与布线电路连接的非导通焊盘(7c)的第1半导体芯片(4);含有多个第二电极焊盘(7b)和不与布线电路连接的非导通焊盘(7d)的第2半导体芯片(5);以及具有设置在与所述第1半导体芯片(4)的第一电极焊盘(7a)对应的位置上的上表面焊盘(2a)、和设置在与所述第2半导体芯片(5)的第二电极焊盘(7b)对应的位置上的下表面焊盘(2b)的基板(1),
用第1凸点(8a)接合所述上表面焊盘(2a)和第一电极焊盘(7a),并用第2凸点(8b)接合所述下表面焊盘(2b)和第二电极焊盘(7b),
用空凸点(18)接合非导通焊盘(7c、7d)和基板(1)。
5.一种半导体芯片的安装结构体的制造方法,其特征在于,
对第1凸点(8a)与基板上表面(1a)的上表面焊盘(2a)进行对准位置、并暂时固定具有接合第1凸点(8a)的多个第一电极焊盘(7a)和接合空凸点(18)的不与布线电路连接的非导通焊盘(7c)的第1半导体芯片(4),同时对第2凸点(8b)与基板下表面的下表面焊盘(2b)进行对准位置、并暂时固定具有接合第2凸点(8b)的多个第二电极焊盘(7b)和接合空凸点(18)的不与布线电路连接的非导通焊盘(7d)的第2半导体芯片(5),再分别向着基板(1)对所述第1和第2半导体芯片(4、5)施加压力并加热,使与非导通焊盘(7c、7d)接合的空凸点(18)直接与基板接合。
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