[发明专利]测试装置以及电源电路

说明书

技术领域

本发明是有关于一种测试电子元件的测试装置，以及测试装置等中所使用的电源电路。

背景技术

先前，在对电子元件进行测试的测试装置中，设置有用于向该电子元件供给电力的电源电路。例如，电源电路具有用于生成向电子元件施加电源电压及电源电流的功率元件(power device)、及用于驱动该功率元件的电源。

例如，功率元件具有放大所施加的输入电压并作为电源电压输出的放大电路、依据输入电压向电子元件供给源电流的源极侧电路、依据输入电压从电子元件引入吸收电流(sink current)的吸收侧电路。源极侧电路及吸收侧电路具有在电源和电子元件之间所设置的CMOS，且在该CMOS的栅极终端上施加对应于输入电压的电压，并依据输入电压，控制从电源向电子元件供给的电源电流，或控制从电子元件向电源引入的电源电流。

相关的专利文献等现在还未发现，所以省略其说明。

但是，在现有习知的电源电路中，从电源向功率元件上所施加的驱动电压是一定的。而且，在源极侧电路及吸收侧电路上，施加有驱动电压和电源电压的差分。此时，例如在电源电压非常小的情况下，在源极侧电路及吸收侧电路上施加有与驱动电压大致相等的电压，而使功率元件的电力消耗增大。

对借由文献的参照而认为可组入的指定国，将下述日本专利申请中所记述的内容借由参照而组入本申请中，以作为本申请的记述的一部分。

日本专利特愿2004-347659申请日2004年11月30日。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种能够解决上述课题的测试装置以及电源电路。该目的利用权利要求中的独立项所记述的特征的组合而达成。而且，从属项规定本发明的更加有利的具体例子。

为了解决上述课题，本发明提供一种测试装置，为一种测试电子元件的测试装置，此测试装置包括：生成用于供给到电子元件的测试图案的图案生成部、用于根据图案生成部所生成的测试图案生成欲供给至电子元件的测试信号的波形成形部、用于对电子元件供给电源电力的电源电路、根据电子元件输出的输出信号而判定电子元件的好坏的判定部；其中：电源电路包括：用于生成应施加在电子元件上的设定的输入电压的电压源、根据电压源所生成的输入电压，向电子元件供给电源电力的功率元件、用于供给功率元件的驱动电力的电源、根据功率元件所输出的电源电力而控制电源在功率元件上所施加的驱动电压的电压控制部。

也可使功率元件包括：将对应输入电压的电压在电子元件上进行施加的放大电路、依据输入电压对电子元件供给源电流的源极侧电路、依据输入电压从电子元件引入上述吸收电流的吸收侧电路；电压控制部包括：对电源在源极侧电路上所施加的源极侧驱动电压，根据功率元件所输出的电源电力而进行控制的正电压控制部、对电源在吸收侧电路上所施加的吸收侧驱动电压，根据功率元件所输出的电源电力进行控制的负电压控制部。

也可使电压控制部检测功率元件所输出的电源电压，当电源电压增大时，则使驱动电压增大；当电源电压减小时，则使驱动电压减小。也可使电压控制部对驱动电压进行控制，以使电源电压和驱动电压的差分大致一定。

也可使电压控制部对功率元件所输出的电源电流进行检测，当电源电流减小时使驱动电压增加，当电源电流增加时使驱动电压减少。也可使电压控制部还对功率元件所输出的电源电压进行检测，并对驱动电压进行控制，以使从驱动电压去除电源电压的值不小于预先所确定的值。

也可使功率元件输出与输入电压大致相等的电源电压；电压控制部对输入电压进行检测，并控制驱动电压，以使电源电压和输入电压的差分大致一定。也可使电压控制部包括：预先被给予应控制的电源电压和驱动电压的差分，并把所检测的电源电压加上差分后输出的补偿电路、驱动器。该驱动器根据预先所确定的基准电压和补偿电路输出的电压的差分，对驱动电压进行控制。也可使上述电压控制部还包括：将所检测的电源电压在设定的电压范围内进行电平固定的防饱和电路。