[发明专利]测试装置以及电源电路

权利要求书

1.一种测试装置，为一种测试电子元件的测试装置，其特征在于该测试装置包括：

一图案生成部，生成用于供给到前述电子元件的测试图案；

一波形成形部，根据前述图案生成部所生成的测试图案，生成欲供给至电子元件的测试信号；

一电源电路，用于对前述电子元件供给电源电力；

一判定部，根据前述电子元件输出的输出信号而判定前述电子元件的好坏；

其中，前述电源电路包括：

一电压源，用于生成应施加在前述电子元件上的设定的输入电压；

一功率元件，根据前述电压源所生成的前述输入电压，向前述电子元件供给前述电源电力；

一电源，用于供给前述功率元件的驱动电力；以及

一电压控制部，根据前述功率元件所输出的前述电源电力，控制前述电源在前述功率元件上所施加的驱动电压，

前述电压控制部检测前述功率元件所输出的电源电压，当前述电源电压增大时，则使前述驱动电压增大；当前述电源电压减小时，则使前述驱动电压减小，

前述电压控制部对前述驱动电压进行控制，以使前述电源电压和前述驱动电压的差分大致一定，

前述电压控制部包括：

一补偿电路，预先被给予应控制的前述电源电压和前述驱动电压的前述差分，并把所检测的前述电源电压加上前述差分后输出；及

一驱动器，根据前述补偿电路输出的电压和预先所确定的基准电压的差分，对前述驱动电压进行控制。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于前述功率元件包括：

一放大电路，将对应前述输入电压的电压施加在前述电子元件上；

一源极侧电路，依据前述输入电压对前述电子元件供给源电流；

一吸收侧电路，依据前述输入电压从前述电子元件引入吸收电流；

前述电压控制部包括：

一正电压控制部，对前述电源在前述源极侧电路上所施加的源极侧驱动电压，根据前述功率元件所输出的前述电源电力而进行控制；以及

一负电压控制部，对前述电源在前述吸收侧电路上所施加的吸收侧驱动电压，根据前述功率元件所输出的前述电源电力来进行控制。

3.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于前述电压控制部还包括一防饱和电路，将所检测的前述电源电压在设定的电压范围内进行电平固定。

4.一种测试装置，为一种测试电子元件的测试装置，其特征在于该测试装置包括：

一图案生成部，生成用于供给到前述电子元件的测试图案；

一波形成形部，根据前述图案生成部所生成的测试图案，生成欲供给至电子元件的测试信号；

一电源电路，用于对前述电子元件供给电源电力；

一判定部，根据前述电子元件输出的输出信号而判定前述电子元件的好坏；

其中，前述电源电路包括：

一电压源，用于生成应施加在前述电子元件上的设定的输入电压；

一功率元件，根据前述电压源所生成的前述输入电压，向前述电子元件供给前述电源电力；

一电源，用于供给前述功率元件的驱动电力；以及

一电压控制部，根据前述功率元件所输出的前述电源电力，控制前述电源在前述功率元件上所施加的驱动电压，

前述电压控制部对前述功率元件所输出的电源电流进行检测，当前述电源电流减小时使前述驱动电压增加；当前述电源电流增加时，使前述驱动电压减少。

5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于前述功率元件包括：

一放大电路，将对应前述输入电压的电压施加在前述电子元件上；

一源极侧电路，依据前述输入电压对前述电子元件供给源电流；

一吸收侧电路，依据前述输入电压从前述电子元件引入吸收电流；

前述电压控制部包括：

一正电压控制部，对前述电源在前述源极侧电路上所施加的源极侧驱动电压，根据前述功率元件所输出的前述电源电力而进行控制；以及

一负电压控制部，对前述电源在前述吸收侧电路上所施加的吸收侧驱动电压，根据前述功率元件所输出的前述电源电力来进行控制。

6.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于前述电压控制部还对前述功率元件所输出的电源电压进行检测，并对前述驱动电压进行控制，以使从前述驱动电压减去前述电源电压的值不小于预先所设定的值。