[发明专利]可收缩流体容器

说明书

技术领域

本发明总体上涉及用于工业液体传送系统中的流体容器领域。具体地，本发明涉及一种帮助使液体化学流中的气体微泡的形成最小化的流体容器。

背景技术

在许多工业加工应用中，流体容器被用作用于液体传送系统的工艺液体的来源。流体容器时常被装配在远离使用端设备的位置处并被填充。在这种情况下，使用端设备接着直接将流体容器组装到液体传送系统内或者从流体容器中将液体腾空到连接到液体传送系统的储存器内。

在特定的工业加工应用中，穿过液体传送系统的液体中的气体微泡的存在可能具有不良影响。例如，当液体沉积到基板上以形成层时，所沉积的液体中存在微泡可能会在沉积层或后续的沉积层中造成缺陷。根据流体容器和液体传送系统中的压力状态，流体容器和/或液体传送系统中存在顶隙气体(headspace gas)可能会有助于在液流中形成微泡。

在半导体工业中，例如，生产集成电路的普通制造步骤包括将光阻溶液沉积到硅片上。光阻溶液中存在微泡典型地将在后续的加工步骤中在芯片的表面上产生缺陷部位。随着集成电路上的特征已持续变得越来越小，微泡的存在已对集成电路的质量造成渐增的危险。此外，当在工业液体传送系统中观察到微泡时，系统通常要进行净化直到微泡被消除为止，从而可以造成昂贵的化学液体浪费。因此，较有利的是消除液体传送系统中微泡的存在或使微泡的存在最小化。

所给出的与微泡形成有关的问题需要一种可移除顶隙气体并帮助减少穿过液体传送系统的液体中的微泡形成的流体容器。

发明内容

本发明为一种用于处理液体的流体容器，所述流体容器包括用于储存液体的内部容积。所述内部容积限定主室和辅助室。所述主室用于将液体分配到液体传送系统的流动路径中，所述辅助室用于容纳物质。配件被密封到所述流体容器并限定与所述流体容器的所述内部容积相连通的端口。

附图说明

图1是液体传送系统的方块图；

图2是包括泵的图1的液体传送系统的方块图；

图3A是包括升高的流体容器的图1的液体传送系统的方块图；

图3B是包括机械力施加器的图1的液体传送系统的方块图；

图3C是包括流体压力施加器的图1的液体传送系统的方块图；

图4A是装备有集气辅助室的可收缩衬管(collapsible liner)的前视图；

图4B是在密封集气辅助室之前沿图4A的线4-4所截得的横截面；

图4C是在密封集气辅助室之后沿图4A的线4-4所截得的横截面；

图5A是具有分配室和收集室的可收缩衬管的前视图；

图5B是在密封收集室之前沿图5A的线5-5所截得的横截面；以及

图5C是在密封收集室之后沿图5A的线5-5所截得的横截面。

尽管上述的图示阐明了本发明的几个实施例，然而其它实施例也是可预期的，如在讨论中所提及。在所有情况中，本披露内容作为说明而非限制性呈现了本发明。应该理解的是本领域普通技术人员可以提出落在本发明的范围和原理本质内的许多其它的修改及实施例。图示可以不按比例画出。相同的参考符号在所有的图示中用于表示相同的部分。

具体实施方式

从流体容器和液体传送系统的流动路径消除顶隙气体对于抑制在穿过流动路径的液体中形成微泡是很重要的。同样地，本发明关于一种流体容器，所述流体容器能够从流体容器的内部容积和/或液体传送系统的流动路径消除顶隙气体。本发明进一步关于一种流体容器，所述流体容器能够从液体传送系统的流动路径接收液体和/或顶隙气体、消除对单独的垂直排出(plumbed drain)的需求、以及允许储存液体以供稍后使用。

众所周知，气体可以以物理方式而非化学反应或相互作用溶解在液体中。如果气体在液体中的溶解度降低，则无需经历化学反应或相互作应而溶解在液体中的气体可以从溶液中出来并形成微泡。在均衡状态下将溶解在液体中的气体的总体积依赖于液体的组成、气体的组成、气体的分压以及温度。如果液体和气体的组成固定，并且温度保持恒定，则气体在液体中的溶解度与气体在液体表面上的压力成正比。除非另做规定，否则术语“气体”在此意指包括大气以及任何其它气体或气体组合。

图1至图3C显示用于将液体从液体容器传送到下游过程的液体传送系统的方块图。图1和图2被包括在用于说明液体传送系统中有助于微泡形成的状态。图3A至图3C被包括在用于说明抑制微泡形成的液体传送系统。在此的术语“微泡”意指包括(1)无需放大就可被人眼看到的气泡、以及(2)小到不放大或通过其它检测装置无法看到的气泡。