[发明专利]可收缩流体容器

权利要求书

1.一种用于处理液体的可收缩流体容器，所述流体容器用于连接到液体传送系统的流动路径，所述流体容器包括：

用于储存液体的内部容积，所述内部容积限定主室和辅助室，所述主室用于将液体分配到所述流动路径中，所述辅助室用于容纳物质；以及

密封到所述流体容器的配件，所述配件限定与所述流体容器的所述内部容积相连通的端口。

2.根据权利要求1所述的可收缩流体容器，其中所述物质为顶隙气体。

3.根据权利要求1所述的可收缩流体容器，其中所述物质为来自所述流动路径的液体。

4.根据权利要求1所述的可收缩流体容器，其中所述主室和所述辅助室相连。

5.根据权利要求4所述的可收缩流体容器，其中所述辅助室相对于所述主室定位成捕集顶隙气体。

6.根据权利要求5所述的可收缩流体容器，其中所述主室朝着所述辅助室逐渐变窄。

7.根据权利要求4所述的可收缩流体容器，其中所述辅助室朝着所述主室逐渐变窄。

8.根据权利要求4所述的可收缩流体容器，其中可封通道连接所述主室和所述辅助室。

9.根据权利要求1所述的可收缩流体容器，其中所述内部容积由柔性衬管限定。

10.根据权利要求9所述的可收缩流体容器，其中所述柔性衬管由不能透过气体的材料制成。

11.根据权利要求1所述的可收缩流体容器，其中出口配件被密封到所述流体容器以限定与所述内部容积的所述主室相连通的端口，入口配件被密封到所述流体容器以限定与所述内部容积的所述辅助室相连通的端口。

12.根据权利要求1所述的可收缩流体容器，其中所述流体容器用于处理加工微观结构中所使用的液体。

13.一种用于以液体填充流体容器以使顶隙减至最小的方法，所述方法包括：

提供用于将液体保持在具有主室和辅助室的内部容积内的流体容器，所述辅助室连接到所述主室；

所述流体容器的所述内部容积填充有大量液体，使得所述主室含有液体而所述辅助室含有顶隙气体；以及

使所述辅助室与所述主室密封，使得顶隙气体被捕集在所述辅助室内。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述内部容积由柔性衬管限定。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述柔性衬管使气体不能透过。

16.根据权利要求13所述的方法，其中所述主室朝着所述辅助室逐渐变窄。

17.一种用于从液体传送系统的流动路径收集物质的方法，所述方法包括：

提供具有分配室和收集室的流体容器，所述分配室保持液体；

将所述分配室连接到所述流动路径的入口端；

将所述收集室连接到所述流动路径的出口端；以及

将来自所述流动路径的物质收集在所述收集室中。

18.根据权利要求17所述的方法，其中所述流体容器具有连接所述分配室和所述收集室的通道。

19.根据权利要求18所述的方法，进一步包括：

密封所述分配室与所述收集室之间的所述通道，以防止所述收集室中所收集的物质进入所述分配室中。

20.根据权利要求19所述的方法，进一步包括：

未密封所述通道，以使所述收集室中所收集的物质中的至少一些进入所述分配室。

21.根据权利要求17所述的方法，其中所述物质为来自所述流动路径的液体。

22.根据权利要求17所述的方法，进一步包括：

将液体从所述分配室供应到所述液体传送系统的所述流动路径中。

23.根据权利要求22所述的方法，进一步包括：

在将液体供应到所述流动路径中之前从所述流体容器的所述分配室移除顶隙气体，其中通过密封所述分配室与所述收集室之间的通道从所述分配室移除顶隙气体，使得所述顶隙气体被捕集到所述收集室中。