[发明专利]用于调整距离的非接触支撑平台

权利要求书

1.非物理接触地将静态或运动的基本平坦物体支撑在流体垫上的设备，物体漂浮在流体垫间隙上，该设备用于整体或局部调整该间隙，该设备包括：用于非接触地支撑物体的第一平台，该平台具有基本平坦的作用面，作用面上包含一个或多个区，每个区包含至少多个压力出口之一，该压力出口通过压力限流器连接至基本单元所在的该区的高压歧管，高压歧管通过主供应管道连接至加压流体供给装置，且至少多个流体排泄通道之一连接至基本单元所在的具有主排泄管路的该区的低压歧管；其中，限流器表现为流体复位弹簧的作用；且，其中至少一个压力控制阀放入至少一个区的至少两主管道之一，用于控制该区的至少两个歧管之一内的压力水平。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述至少一个压力控制阀放入至少一个区的高压歧管和加压流体供给装置之间的主供给管路，用于控制高压歧管内的压力水平。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述至少一个压力控制阀放入主排泄管路，用于在低压歧管控制至少一个区的压力水平。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：在主供给管路中放入一个压力控制阀，在主排泄管路中放入第二个压力控制阀，用于至少一个区的不同间隙控制。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：此外，根据本发明的一些优选实施例，所述间隙的范围是100～500微米。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于：采用所述至少一个压力控制阀增加或减少所述间隙至50～250微米之间。

7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：每个区的低压歧管通过主排泄管路连接至负压蓄压器，从而压力出口和流体排泄通道维持被支撑物体和平台作用面之间的真空预载流体垫。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于：所述间隙的范围是10～100微米。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于：采用所述至少一个压力控制阀来增加或减少所述间隙至5～50微米之间。

10.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述至少一个或多个区只包含一个区，用于整体间隙调整。

11.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述压力限流器包括自适应分段口(SASO)限流器。

12.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：在所述至少多个流体排泄通道之一和低压歧管之间放入限流器。

13.根据权利要求12所述的设备，其特征在于：真空限流器包括自适应分段口(SASO)限流器。

14.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述作用面是圆形的。

15.根据权利要求14所述的设备，其特征在于：所述区为环形，并安排成一个环及同中心的形式。

16.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述作用面是矩形的。

17.根据权利要求16所述的设备，其特征在于：该区基本为矩形，并安排成基本平行。

18.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述设备还设置有至少一个邻近的非接触支撑平台，其作用面基本与该设备的所述作用面同一平面。

19.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述区被中间惰性区分开。

20.根据权利要求19所述的设备，其特征在于：所述中间惰性区的表面低于作用区的表面。

21.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述设备还设置有用于移动物体、平台或者两者的运动机构。

22.根据权利要求21所述的设备，其特征在于：所述运动机构包括用于旋转物体或平台的旋转机构。

23.根据权利要求21所述的设备，其特征在于：所述运动机构包括用于直线移动物体或平台的直线运动机构。

24.根据权利要求21所述的设备，其特征在于：所述运动机构包括用于平面移动物体或平台的平面运动机构。

25.根据权利要求21所述的设备，其特征在于：控制单元控制运动机构。