[发明专利]薄膜声表面波器件的非晶金刚石增频衬底及其制备方法无效
| 申请号： | 200510010409.2 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1750392A | 公开（公告）日： | 2006-03-22 |
| 发明（设计）人： | 朱嘉琦;韩杰才;韩潇;程坤;杨瑾 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/08;H03H9/25 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 王吉东 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 表面波 器件 金刚石 衬底 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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