[发明专利]基于转速调制的提高薄膜厚度均匀性的方法无效
| 申请号： | 200310110845.8 | 申请日： | 2003-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN1614077A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李言荣;陶伯万;陈家俊;刘兴钊;张鹰;邓新武 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610054四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 转速 调制 提高 薄膜 厚度 均匀 方法 | ||
【说明书】：
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