[发明专利]用粒子束测量关键尺寸的方法和装置无效
| 申请号： | 03816419.1 | 申请日： | 2003-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN1668915A | 公开（公告）日： | 2005-09-14 |
| 发明（设计）人： | B·森德尔;O·德罗尔;A·塔姆;O·米那德瓦;R·克里斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司;应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225;G06T11/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李家麟 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 粒子束 测量 关键 尺寸 方法 装置 | ||
【说明书】：
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