[发明专利]带有功率控制的电感耦合等离子体自激式射频发生器有效
| 申请号： | 02153632.5 | 申请日： | 2002-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN1505250A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | 夏义峰 | 申请（专利权）人： | 夏义峰 |
| 主分类号： | H02M7/48 | 分类号： | H02M7/48;H02M7/533 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102208北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 功率 控制 电感 耦合 等离子体 射频 发生器 | ||
【说明书】：
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