[发明专利]光调制装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及光调制装置及其制造方法。

背景技术

光调制装置是利用微镜和驱动电极之间的电位差所产生的静电力，倾斜驱动微镜来调制来自光源的光。作为光调制装置，已有例如将多个微镜配置为矩阵形结构的DMD(Digital MicromirrorDevice)。DMD能提供高分辨率、高亮度的大画面。因此，DMD被用于投影器等的投影式图像装置。

光调制装置具有，将拥有微镜的镜衬底和拥有驱动电极的电极衬底，层叠起来的结构。以设置在镜衬底和电极衬底之间的支撑部(柱)作为支点，倾斜驱动微镜。其支撑部，是将多个微镜彼此相互连接、固定在作为倾斜驱动时的轴的镜衬底的轴部上(扭转杆)。

由于是扭动支撑部和轴部间那样，来倾斜驱动微镜，所以在支撑部和轴部的边界部，有应力集中。目前，支撑部和轴部是分别形成后，再用粘接剂等固定起来，所以在倾斜驱动微镜时，应力集中，可能使边界部处损坏。

发明内容

本发明的目的在于提供耐久性好的光调制装置及其制造方法。

(1)有关本发明的光调制装置的制造方法，是利用由驱动电极和微镜之间的电位差所产生的静电力，倾斜驱动上述微镜的光调制装置的制造方法，包含

将位于倾斜驱动上述微镜时的支点处的支撑部和成为倾斜驱动上述微镜时的轴的轴部整体形成的工序。

利用本发明，由于支撑部和轴部是整体形成的，从而能提高两者边界部的机械性强度。因此，边界部即便微镜被倾斜驱动而扭动也难以损坏，从而能制造出耐久性好的光调制装置。

(2)这种光调制装置的制造方法，还可以包括将下述的第1衬底和第2衬底接合的工序，在此

该第1衬底，拥有上述驱动电极，

该第2衬底，包含形成上述微镜、上述支撑部和上述轴部用的第1层；成为上述第1层基础的第2层；设置在上述第1和第2层之间的成为除去上述第2层时的抑止层的第3层。

这样，可以将第1层图案化来整体形成支撑部及轴部。

(3)这种光调制装置的制造方法，还可以包含

在形成上述支撑部之后，

将上述第2衬底的上述支撑部的顶端与上述第1衬底相接合的工序。

(4)这种光调制装置的制造方法，

可以将上述第2衬底的上述支撑部的上述顶端，通过粘接剂与上述第1衬底相接合。

这样，用粘接剂就可以简单地使第1及第2衬底相接合。

(5)这种光调制装置的制造方法，

可以将上述粘接剂敷设在上述第1衬底上。

这样，由于在第1衬底上不形成支撑部，所以能使粘接剂均匀地敷设在表面。

(6)这种光调制装置的制造方法，还包括

在将上述第1和第2衬底接合后，以上述第3层作为抑止层来除去上述第2层的工序。

这样，以第3层为抑止层来除去第2层。因此，在除去第2层时，不易给形成支撑部的第1层带来损伤。

(7)这种光调制装置的制造方法，

可以在除去上述第2层后，形成上述微镜及上述轴部。

(8)这种光调制装置的制造方法，

可以在将上述第1及第2衬底接合之前，形成上述微镜及上述轴部。

这样，在形成微镜、支撑部和轴部之后，再将第1及第2衬底接合。所以，假如即使微镜、支撑部和轴部的任意一个发生不良时，也仅仅是废弃第2衬底即可。从而能降低成本。

(9)与本发明有关的光调制装置，用上述方法制造。

(10)与本发明有关的光调制装置，包括

镜衬底，具有多个微镜；

电极衬底，具有利用由与上述微镜之间的电位差所产生的静电力来倾斜驱动上述微镜的多个驱动电极，并使上述微镜和上述驱动电极相对置而接合在上述镜衬底，

在上述镜衬底上，将位于倾斜驱动上述微镜时的支点处的支撑部和成为倾斜驱动上述微镜时的轴的轴部整体形成。

基于本发明，由于支撑部和轴部是整体形成，所以能提高两者边界部的机械性强度。因此，边界部即便微镜被倾斜驱动而扭动也难以损坏，从而，可提供耐久性好的光调制装置。

(11)这种光调制装置，

其上述支撑部和上述轴部，也可以由硅单晶层形成。

这样，支撑部和轴部，可由硅单晶层整体形成。

(12)这种光调制装置，

其上述镜衬底以及上述电极衬底，也可以用粘接剂接合起来。

附图说明

图1是应用了本发明的第1实施方式的光调制装置示意图。

图2是应用了本发明的第1实施方式的光调制装置的部分示意图。