[发明专利]光调制装置及其制造方法

权利要求书

1.一种光调制装置的制造方法，用于制造利用由驱动电极和微镜之间的电位差而产生的静电力来倾斜驱动上述微小镜的光调制装置，其包含

将位于倾斜驱动上述微镜时的支点处的支撑部和成为倾斜驱动上述微镜时的轴的轴部整体形成的工序。

2.权利要求1所记载的光调制装置的制造方法，还包括

将

具有上述驱动电极的第1衬底，和

包含形成上述微镜、上述支撑部和上述轴部用的第1层；成为上述第1层基础的第2层；设置在上述第1及第2层之间的成为除去上述第2层时的抑止层的第3层的第2衬底接合的工序。

3.权利要求2所记载的光调制装置的制造方法，还包括

在形成上述支撑部之后，

将上述第2衬底的上述支撑部的顶端与上述第1衬底接合的工序。

4.权利要求3所记载的光调制装置的制造方法，

将上述第2衬底的上述支撑部的上述顶端，通过粘接剂与上述第1衬底接合。

5.权利要求4所记载的光调制装置的制造方法，

将上述粘接剂敷设在上述第1衬底上。

6.权利要求3～权利要求5之一记载的光调制装置的制造方法，还包括

在将上述第1和第2衬底接合后，以上述第3层作为抑止层来除去上述第2层的工序。

7.权利要求6所记载的光调制装置的制造方法，

在除去上述第2层后，形成上述微镜及上述轴部。

8.权利要求3～权利要求6之一记载的光调制装置的制造方法，

在将上述第1及第2衬底接合之前，形成上述微镜及上述轴部。

9.一种光调制装置，

用权利要求1～权利要求8任意一项所记载的方法制造而成。

10.一种光调制装置，

包含

具有多个微镜的镜衬底；

具有利用由与上述微镜之间的电位差所产生的静电力来倾斜驱动上述微镜的多个驱动电极，并使上述微镜和上述驱动电极相对置而接合在上述镜衬底的电极衬底，

在上述镜衬底上，将位于倾斜驱动上述微镜时的支点处的支撑部和成为倾斜驱动上述微镜时的轴的轴部整体形成。

11.权利要求10所记载的光调制装置，

上述支撑部及上述轴部，由硅单晶层形成而成。

12.权利要求10或权利要求11所记载的光调制装置，

上述镜衬底和上述电极衬底，通过粘接剂接合。