[发明专利]X射线检查装置

权利要求书

1.一种X射线检查装置，其特征在于：

具有产生X射线的X射线源；向检查对象照射上述X射线，检测上述检查对象的透射像的二维X射线检测器；配置在上述X射线源与上述检查对象之间的X射线栅；进行上述二维X射线检测器的输出的运算处理的运算处理装置，上述运算处理装置进行如下运算，即，以隔开预定个数的像素的间隔的抽样频率，在排列上述X射线栅的X射线吸收体栅的方向上，从上述透射像的图像中抽取像素，求出分别形成具有仅按预定角度程度不同的相位的干涉条纹的2个抽取图像的运算；根据上述2个抽取图像之间的像素值的差分求出表示干涉条纹的振幅分布的振幅分布图像的运算；使用上述振幅分布图像求出表示包含在上述透射像的图像中的散射X射线成分的分布的散射X射线分布图像的运算；从上述透射像的图像的像素值减去上述散射X射线分布图像的像素值，从上述透射像的图像去除上述散射X射线成分的运算。

2.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于：

具有存储器，用于存储为了抽取包含在上述透射像的图像中的直接X射线成分的分布而预先求出的定标图像，上述运算处理装置进行如下运算，即，从上述透射像的图像的像素值中，减去从上述存储器读出的上述定标图像的像素值与上述振幅分布图像的像素值之积，求出表示包含在上述透射像的图像中的散射X射线成分的分布的散射X射线分布图像的运算；从上述透射像的图像的像素值减去上述散射X射线分布图像的像素值的运算，并从上述透射像的图像去除上述散射X射线成分。

3.根据权利要求2所述的X射线检查装置，其特征在于：

作为上述X射线源使用X射线管，上述运算处理装置进行如下运算，即从上述存储器读出与检测上述透射像时的上述X射线管的管电压以及上述X射线栅的组合所对应的上述定标图像，并去除上述散射X射线成分的运算。

4.根据权利要求2所述的时X射线检查装置，其特征在于：

上述运算处理装置进行如下运算，即，以隔开上述预定个数的像素的间隔的上述抽样频率，在排列上述X射线吸收体栅的方向上，从没有放置上述检查对象的状态下从检测出的空间图像中抽取像素，求出分别形成具有仅按上述预定角度程度不同的相位的干涉条纹的2个空间抽取图像的运算；根据上述2个空间抽取图像之间的像素值的差分求出表示干涉条纹的振幅分布的空间振幅分布图像的运算；求出把表示通过了上述空间图像的上述X射线栅的直接X射线成分的分布的空间分布图像的像素值对于上述空间振幅分布图像的像素值之比作为像素值而具备的上述定标图像的运算，并把上述定标图像存储在上述存储器中。

5.根据权利要求2所述的X射线检查装置，其特征在于：

上述运算处理装置对于上述各个空间图像进行以下的运算，即，作为X射线源使用X射线管，根据1个或多个管电压与1个或多个散射X射线成分去除率不同的上述X射线栅的组合，对于没有放置上述检查对象的状态下检测出的1个或多个空间图像，以隔开上述预定个数的像素的间隔的上述抽样频率，在排列上述X射线吸收体栅的方向上，从上述空间图像中抽取像素，求出分别形成具有仅按上述预定角度程度不同的相位的干涉条纹的2个空间抽取图像的运算；根据上述2个空间抽取图像之间的像素值的差分求出表示干涉条纹的振幅分布的空间振幅分布图像的运算；求出把表示上述空间图像的通过了上述X射线栅的直接X射线成分的分布的空间分布图像的像素值对于上述空间振幅分布图像的像素值之比作为像素值而具备的上述定标图像的运算，并且具有存储对于上述各个空间图像的上述定标图像的存储器。

6.根据权利要求2所述的X射线检查装置，其特征在于：

上述运算处理装置使用预先求出的相同的上述散射X射线分布图像，进行从多个上述透射像的图像去除上述散射X射线成分的运算。

7.根据权利要求2所述的X射线检查装置，其特征在于：

上述二维X射线检测器的检测面中的排列上述X射线吸收体栅的空间频率与上述二维X射线检测器的尼奎斯特频率的差小于上述尼奎斯特频率的一半的值。

8.根据权利要求2所述的X射线检查装置，其特征在于：

设定上述空间频率、或者/以及、设定配置上述X射线栅的位置，使得上述二维X射线检测器的检测面中的排列上述X射线吸收体栅的空间频率与上述二维X射线检测器的尼奎斯特频率的差小于上述尼奎斯特频率的一半的值。