[发明专利]用于液晶显示装置的光学树脂基板的制造方法及制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及在显示电视和计算机图象的平面显示板上使用的图象显示元件的制造方法，特别涉及使用树脂基板的图象显示元件的制造方法。

背景技术

以前，在使用树脂基板的液晶面板(液晶显示元件)中，树脂基板由氛围温度和吸湿造成的尺寸变化较大，因此，在比如ITO(氧化铟锡)电极等进行的刻蚀图案和CF(滤色片)图案，其尺寸和实际尺寸会有很大的差别。而在阵列基板和对向基板贴合的情况下，在这些贴合的基板之间经常会发生电极的图案和滤色片图案不一致的情况。其结果，象素大小(开口率)的变动对显示特性，比如反差会产生影响。

作为解决此类问题的技术，特开平9-146082号公报公开了，在树脂基板上设置防止气体侵入液晶的气体隔离膜，作为此气体隔离膜的副效果，可以抑制由于吸湿造成的尺寸变化。作为代表性的气体隔离膜可以举出SiO_x膜和SiN_x膜。

可是，已经判明，设置了气体隔离膜的树脂基板并不能完全防止吸湿，在室温下放置的状态不会引起急剧的尺寸变化，但在基板的加热前后会发生很大的尺寸变化。也就是说，在液晶显示板的制造过程中，由于有反复加热的工序，设置了气体隔离膜的树脂基板仍然有很大的尺寸变化，解决此问题成为一个重大的课题。

发明内容

本发明的目的就是为解决此类课题，提供一种树脂基板尺寸变化很小的图象显示元件的制造方法。

为了解决上述课题，本发明人锐意地观察了树脂基板的尺寸动态。其结果发现反复加热引起的树脂基板的尺寸变化，起因于其间树脂基板吸水量的变化。

在此，作为本发明的图象显示元件的制造方法，在装有为了显示图象而要保持显示功能部件的树脂基板的图象显示元件制造方法中，包括在上述树脂基板的两面形成无机膜的无机膜形成工序、在上述无机膜形成工序以前或以后将上述树脂基板脱水的脱水工序，完成了上述无机膜形成工序和上述脱水工序的上述树脂基板和其他基板由介入的密封材料进行贴合，然后由至少加热上述树脂基板使上述密封材料固化。如此组成以后，树脂基板的吸水率降低，而且由于在基板的两面覆盖了无机膜，经过比较长的时间以后，仍然能够维持低吸水率的状态。其结果，在贴合树脂基板的工序中，为了使密封材料固化而进行加热，其吸水率的变化就很小，与此对应的树脂基板尺寸变化也就很小。

并且，上述的显示功能部件也可以夹在上述树脂基板和上述其他基板之间。

再有，上述其他基板还可以具有滤色片。如此构成的话，由加热贴合基板之间的密封材料所造成的图案偏差就小。

再有，上述滤色片是由红色、绿色和蓝色的次级滤色片组成的滤色片。

这里，上述滤色片可以由白色透过光中选择通过规定波长的光线。

再有，在上述脱水工序中，上述树脂基板的吸水率可以在0.5wt％以下。如果如此组成的话，吸水率在0.5wt％以下的树脂基板不会物理吸水，而是处于化学的吸湿状态，即使在比较高的温度下也不易发生水的解吸，因此尺寸变化就比较小。

再有，可以在上述脱水工序后完成上述无机膜形成工序。

再有，可以在上述无机膜形成工序后完成上述脱水工序。

再有，上述树脂基板可以由环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、聚碳酸酯树脂、聚乙烯醇树脂、聚乙烯树脂当中的任一种，它们的复合树脂或者由它们层合的树脂材料构成。如果如此构成的话，由于树脂是透明的，不仅发挥优异的光学特性，也具有优异的反复加热的吸水率和尺寸的再现性。

再有，上述的无机膜可以由SiO_x、SiN_x、GeO_x、TiO_x、ZrO_x当中的任一种的膜、它们的复合膜或者它们的层合膜组成。

再有，上述无机膜的厚度可以在15nm以上、40nm以下。如果如此构成的话，无机膜上没有裂纹，能够长期保持吸水率低下的状态。

再有，上述树脂基板可以由加热进行脱水。如果如此构成的话，树脂基板的吸水率能够容易地并以良好的再现性降低。

再有，上述加热的温度可以在200℃以下。如果如此构成的话，由于树脂的热变化小，能够维持在反复加热时的吸水率和尺寸再现性(树脂特性)。

再有，上述树脂基板可以由减压而脱水。如果如此构成的话，树脂基板的吸水率能够容易地并以良好的再现性降低。而且由于树脂的热变化小，能够维持在反复加热时的吸水率和尺寸再现性。