[发明专利]用于液晶显示装置的光学树脂基板的制造方法及制造装置

权利要求书

1.一种图象显示元件的制造方法，该图象显示元件具有为显示图象而保持有显示功能部件的树脂基板，在此方法中，

包括在所述树脂基板的两面形成无机膜的无机膜形成工序和在所述无机膜形成工序之前或之后将所述树脂基板脱水的脱水工序，

将进行了所述无机膜形成工序和所述脱水工序的所述树脂基板和其他基板通过介入密封材料而贴合在一起，然后通过加热至少所述树脂基板使所述密封材料固化。

2.如权利要求1的图象显示元件的制造方法，其中所述显示功能部件夹在所述树脂基板和所述其他基板之间。

3.如权利要求2的图象显示元件的制造方法，其中所述其他基板具有滤色片。

4.如权利要求3的图象显示元件的制造方法，其中所述滤色片由红色、绿色和蓝色的次级滤色片组成。

5.如权利要求4的图象显示元件的制造方法，其中所述滤色片使白色透过光中规定波长的光线有选择地通过。

6.如权利要求1的图象显示元件的制造方法，其中在所述脱水工序中，对所述树脂基板进行脱水，使其吸水率达到0.5wt％以下。

7.如权利要求1的图象显示元件的制造方法，其中在所述脱水工序后进行所述无机膜形成工序。

8.如权利要求1的图象显示元件的制造方法，其中在所述无机膜形成工序后完成所述脱水工序。

9.如权利要求1的图象显示元件的制造方法，其中所述树脂基板是至少由环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、聚碳酸酯树脂、聚乙烯醇树脂、聚乙烯树脂等中的任一种，它们的复合树脂或者它们的层合树脂材料构成。

10.如权利要求1的图象显示元件的制造方法，其中所述无机膜是由SiO_x、SiN_x、GeO_x、TiO_x、ZrO_x中的任一种的膜、它们的复合膜或者由它们的层合膜组成。

11.如权利要求10的图象显示元件的制造方法，其中所述无机膜的厚度在15nm以上，40nm以下。

12.如权利要求1的图象显示元件的制造方法，其中将所述树脂基板通过加热进行脱水。

13.如权利要求12的图象显示元件的制造方法，其中所述加热的温度在200℃以下。

14.如权利要求1的图象显示元件的制造方法，其中所述树脂基板通过减压进行脱水。

15.如权利要求14的图象显示元件的制造方法，其中在所述树脂基板减压后，将所述树脂基板加热。

16.如权利要求15的图象显示元件的制造方法，其中所述加热的温度在200℃以下。

17.如权利要求15的图象显示元件的制造方法，其中所述加热的氛围是惰性气体。

18.如权利要求15的图象显示元件的制造方法，其中所述加热的氛围是空气。

19.如权利要求15的图象显示元件的制造方法，其中所述加热氛围的湿度在35％以下。

20.如权利要求1的图象显示元件的制造方法，其中在进行了所述无机膜形成工序和所述脱水工序的所述树脂基板的一面的无机膜上形成规定的膜，在所述规定的膜上形成图案。

21.如权利要求20的图象显示元件的制造方法，其中所述规定的膜是透明电极膜。

22.如权利要求20的图象显示元件的制造方法，其中所述规定的膜是滤色片膜。

23.如权利要求20的图象显示元件的制造方法，其中所述图象显示元件是液晶显示元件，所述液晶显示元件具有作为所述其他基板的、在所述规定的膜上形成有图案的树脂基板。

24.如权利要求21的图象显示元件的制造方法，其中在将所述透明电极形成图案而成的透明电极上连接柔性接头。

25.一种图象显示元件的制造方法，该图象显示元件包括为显示图象而保持有显示功能部件的树脂基板，其特征在于，该方法包括对所述树脂基板进行脱水，使其吸水率在0.5wt％以下的复原工序。

26.如权利要求25的图象显示元件的制造方法，其中在所述复原工序之前，具有在所述树脂基板的两面形成无机膜的无机膜形成工序。