[发明专利]液晶玻璃基板的化学抛光方法及化学抛光装置

权利要求书

1.液晶玻璃基板的化学抛光方法，其特征是，将液晶玻璃基板浸渍在化学抛光液中，使液晶玻璃基板的外表面以0.5～10μm/分钟的速度进行抛光，所述化学抛光液含有氢氟酸和氟化物的混合液、含有盐酸、硫酸、磷酸和硝酸的一种或多种的无机酸、含有醋酸和琥珀酸的一种或者多种的有机酸、含有磺酸盐类表面活性剂的阴离子表面活性剂以及胺类两性表面活性剂，其中所述的氟化物包括氟化铵、氟化钾和氟化钠中的一种或多种。

2.权利要求1的液晶玻璃基板的化学抛光方法，其中，从储存上述化学抛光液的化学抛光液储槽底部产生气泡，从而产生上升液流。

3.权利要求2的液晶玻璃基板的化学抛光方法，其中，使上述上升液流从上述化学抛光液储槽的周缘部溢出。

4.权利要求3的液晶玻璃基板的化学抛光方法，其中，使上述从周缘部溢出的化学抛光液再次供给上述化学抛光液储槽。

5.权利要求4的液晶玻璃基板的化学抛光方法，其中，使上述从周缘部溢出的化学抛光液流经过滤器，除去抛光过程中产生的反应生成物后，供给上述化学抛光液储槽。

6.化学抛光装置，包括储存化学抛光液的化学抛光液储槽及下述装置：

导入气体并将气体从气泡吐出部分吐出的气泡发生装置，所述气泡吐出部分由多孔材料制成；

设置于上述化学抛光液储槽周缘部的溢出液接受槽，该槽用于接受从所述储槽溢出的化学抛光液；    

用于除去抛光产生的反应生产物的过滤器； 

将上述过滤器过滤后的化学抛光液再次输送到化学抛光液储槽的泵；

配置在上述气泡发生装置下侧的化学抛光液喷出装置，该装置具有多个孔，用于将用上述泵输出的化学抛光液向化学抛光液储槽的底部喷出。

7.权利要求6的化学抛光装置，其中，具有放置液晶玻璃基板的器具，该器具用于放置一块或者多块液晶玻璃基板，所述液晶玻璃基板可以是单片的，也可以是一对液晶玻璃基板进行贴合后的。

8.权利要求6或权利要求7的化学抛光装置，其中，配备有超声波振动器或者摇动搅拌器。