[发明专利]标量机器人的臂

说明书

技术领域

本发明涉及标量机器人(スカラロボツト)的臂，特别是搬送半导体基板或者玻璃基板等薄型基板的标量机器人的臂。

背景技术

图8～图14是表示与现有例相关的标量机器人的臂的构造，图8是沿第1、第2臂的臂长方向的垂直剖面图，图9是第1臂的俯视图，图10是第1臂取下底盖状态的仰视图，图11是第1臂沿臂宽方向的垂直剖面图，图12是第2臂的俯视图，图13是第2臂取下底盖状态的仰视图，图14是第2臂沿臂宽方向的垂直剖面图。

在图8～图14中，1表示手，2表示第1臂，3表示第2臂，4表示机座。机座通过图中未示的驱动装置可水平回转。

第2臂3在根部具有固定皮带轮5，固定皮带轮5通过安装配件6被安装固定在机座4上。从机座4向上方延伸出的回转轴7可自由转动地穿插在固定皮带轮5的中央孔中。转轴7通过图中未示的驱动装置被正转、逆转。第2臂的构架8通过安装配件9被安装固定在转轴7上。第2臂3在前端部具有可动皮带轮10。可动皮带轮10通过固定轴12可自由转动地保持，该固定轴12通过安装配件11被安装固定在构架8上。在固定皮带轮5与可动皮带轮10之间架设着同步皮带13，同步皮带13的张力通过张紧轮15来调整，该张紧轮15通过安装配件14被安装固定在构架8上。

第1臂2在根部具有固定皮带轮16，固定皮带轮16被安装固定在从第2臂3的先端部向上方延伸出的固定轴(第2固定轴)17上。第1臂2在先端部具有可动皮带轮18。可动皮带轮18由固定轴(第1固定轴)21可自由转动地保持，该固定轴21通过安装配件20被安装固定在构架19上。在固定皮带轮16与可动皮带轮18之间架设着同步皮带22，同步皮带22的张力通过张紧轮24来调整，该张紧轮24通过安装配件23被安装固定在构架19上。还有，图中的符号25表示真空吸附用的空气管及传感器的电气配线。

而且，众所周知，如上所述的具有臂2、3的标量机器人，通过正转、逆转机座4内部的驱动装置(图未示)的马达使第2臂3及第1臂2分别水平摇动，手1在水平直线轨道上往复运动。

但是，现有的臂2、3，由于构架8、19兼用为外观盖，构架8、19，为了具有作为可将各种部件安装固定的构架的机能而使其具有足够的厚度的同时，为了具有作为覆盖各种部件的外观盖的功能遍及侧面一周及上面全域而形成，由于重量变大，不仅招致臂而且使机器人全体的重量的增大。因此，在搬送速度受到限制的同时由于惯性大存在容易发生动态的振动的问题。

发明内容

本发明的标量机器人的第1臂，被配置于手与第2臂之间，具有可动皮带轮、固定皮带轮、同步皮带，该可动皮带轮被安装固定在前述手上，该固定皮带轮被安装固定在前述第2臂上，该同步皮带被架设在前述可动皮带轮与固定皮带轮之间，其特征在于，包括：具有对应于前述由同步皮带围成的假想平面领域的平面形状的构架、分别组装固定着自由转动地保持前述可动皮带轮的第1固定轴及从前述第2臂延伸出的安装固定着前述固定皮带轮的第2固定轴的构架；即覆盖上述构架的轻量的外观盖。

本发明的标量机器人的第2臂，被配置于第1臂与机座之间，具有可动皮带轮、固定皮带轮、同步皮带，该可动皮带轮被安装固定在前述第1臂上，该固定皮带轮被安装固定在前述机座上，该同步皮带被架设在前述可动皮带轮与固定皮带轮之间，其特征在于，包括：具有适应前述由同步皮带围成的假想平面领域的平面形状的构架、分别安装固定着可自由转动地保持前述可动皮带轮的固定轴及从前述机座延伸出的可自由转动地被穿插在前述固定皮带轮的中央孔中的转轴的构架；即覆盖前述构架的轻量的外观盖。

在此，在前述构架上一体形成张紧轮安装部。

还有，前述外观盖由合成树脂材料或者薄壁的金属材料制成。

前述构架及前述外观盖分别朝臂长方向被分割结合。

或者，前述构架及前述外观盖分别朝臂长方向被一体化。

本发明的标量机器人的臂，具有安装着各种部件的构架和覆盖前述安装有着各种部件的构架的轻量的外观盖。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施例的标量机器人的第1、第2臂沿臂长方向的垂直剖面图。

图2是第1臂的取下上盖状态的俯视图。

图3是第1臂的取下底盖状态的仰视图。

图4是第1臂的沿臂宽方向的垂直剖面图。

图5是第2臂的取下上盖状态的俯视图。

图6是第2臂的取下底盖状态的仰视图。

图7是第2臂的沿臂宽方向的垂直剖面图。

图8是表示现有技术的标量机器人的第1、第2臂沿臂长方向的垂直剖面图。