[发明专利]制作光学可扫描信息载体的方法

说明书

本发明涉及一种光学可扫描信息载体的制作方法，此方法包含第一步，其中制作主模，和第二步，其中借助主模或借助利用所述由主模制作的子模借助复制过程制作信息载体，在其第一步中，借助经过调制的辐射束对设置在基板上的感光层辐照，借助光学透镜系统在感光层上该辐射束聚焦成扫描点，基板和透镜系统被彼此相对移动，在位于感光层和面对所述感光层的透镜系统的透镜之间的间隙提供有液体。

本发明还涉及一种主模的制作方法，它用于制作一种光学可扫描信息载体，根据此方法，提供在基板上的感光层经过调制的辐射束辐照，借助光学透镜系统在感光层上将该辐射束聚焦成扫描点，基板和透镜系统被彼此相对移动，液体被提供在位于感光层和面对所述感光层的透镜系统的透镜之间的间隙。

本发明还涉及一种用于主模的装置，该主模被用于光学可扫描信息载体底制作，该装置安置有：一个可相对于旋转轴旋转的工作台，在其上可以放置有感光层的基板；辐射源；将由辐射源操作产生的辐射束聚焦成感光层上的扫描点的光学透镜系统；平移装置，该装置用于相对于旋转轴并主要沿径向平移的透镜系统；和在感光层和面对所述感光层的透镜系统的透镜之间的间隙提供液体的液体供应设备。

在JP-A10255319中公开了一种在开篇章节中提及的制作主模的方法和装置。按照已知的方法，将感光层施加于由玻璃制成的盘形基板。基板被固定在已知装置的工作台上。工作台和基板围绕垂直于基板延长的旋转轴旋转，以相当低的速率相对于转动轴的径向移动透镜系统，从而感光层上形成的辐射束的扫描点在感光层上遵从螺旋形轨迹。辐射束是在已知装置中的激光束，它被调制到使得在螺旋形轨迹上形成一系列被辐照的和未被辐照的单元，这些系列单元对应于在待制作信息载体上指望得到的信息单元系列。随后，对感光层显影，从而使受辐照单元消散，在感光层中形成一系列下陷。接着，在感光层上溅射比较薄的铝层，随后通过电沉积过程使铝层设置有比较厚的镍层。接着将那样形成的镍层从基板除去并形成待制作的主模，以上述的方式使其设置有盘形表面，该表面有一系列隆起的部分，这些部分对应在待制作信息载体上的指望得到的信息单元系列。那样制作的主模可适于制作所指望得到的信息载体，然而，总体来说，借助在复制过程中的主模，进行大量复制，即制作所谓的子模。采用进一步的复制过程，一般是注入制模过程，采用子模制作指望得到的信息载体。这种方式限制了所需的价格比较昂贵的主模数量。这种采用主模或者由主模制作子模的具有坑形信息单元的光学可扫描信息载体的制作方法，例如CD或DVD的制作方法，是众所共知的。

根据已知的方法，用水填充位于感光层和面对所述感光层的透镜系统的透镜之间的间隙。为此目的，已知的装置设置有流出口，它位于工作台的旋转轴附近。在离心力的作用下，经过流出口供应的水是散开的，基本上遍及整个感光层表面，这样也可以说间隙被水填充。因为水比空气有高得多的光学折射率，在所述间隙提供水导致在扫描点位置来自辐射束的射线和透镜系统的光学轴之间角度的大大增加。其结果，大大减小了在感光层上的辐射束的扫描点，从而可以在感光层上形成非常大量的已经辐照的和未经辐照的单元，被制作的信息载体会有更高的信息密度。

已知的方法和装置的缺点在于：在所述间隙形成的液体薄膜不总是象在所述液体薄膜中空气含量的结果那样均匀。其结果是在感光层增多了不可允许的缺陷。另外，不均匀的液体薄膜对透镜系统施加变化不定的力。因为通过传动装置可以将透镜系统可以在垂直和平行于感光层方向平移以将辐射束聚焦并定位在感光层上，这个传动装置在所述方向具有有限的刚性，液体薄膜所施加的变化不定的力会引起透镜系统在所述方向的不希望的振动，它也可以在感光层导致不可允许的缺陷。已知的方法和装置的另一个缺点在于必须供应相当大量的液体。其结果是已知的装置必须提供大量措施排除液体和装置的其他部件之间不希望的接触。

本发明的目的之一是提供一种制作光学可扫描信息载体的方法，制作主模的方法，和在开篇段落中提及的那种主模的制作装置，其中，尽可能排除上述已知方法和装置的缺点。

为达此目的，根据本发明制作光学可扫描信息载体的方法和根据本发明的制作主模的方法其特征在于：经过流出口提供液体，沿与透镜系统相关的扫描点位置的基板平移方向观察时，它是处于扫描点的上游并且直接与所述透镜相邻近，所述流出口设置在壁内，其基本上延伸在虚平面内，因此，在透镜面对感光层的一侧延伸。