[发明专利]制作光学可扫描信息载体的方法

权利要求书

1.一种制作光学可扫描信息载体的方法，该方法包含第一步，其中制作主模，和第二步，其中借助主模或借助利用所述由主模制作的子模借助复制过程制作信息载体，在其第一步中，借助经过调制的辐射束对设置在基板上的感光层辐照，借助光学透镜系统在感光层上将该辐射束聚焦成扫描点，基板和透镜系统被彼此相对移动，在位于感光层和面对所述感光层的透镜系统的透镜之间的间隙提供有液体，其特征在于：液体经过流出口被提供，沿与透镜系统相关的扫描点位置的基板平移方向观察时，它是处于扫描点的上游并且直接与所述透镜相邻近，所述流出口设置在壁内，其基本上延伸在虚平面内，因此，在透镜面对感光层的一侧延伸。

2.一种制作用于制作光学可扫描信息载体的主模的方法，根据此方法，借助经过调制的辐射束对设置在基板上的感光层辐照，用光学透镜系统在感光层上将该辐射束聚焦成扫描点，基板和透镜系统被彼此相对移动，在位于感光层和面对所述感光层的透镜系统的透镜之间的间隙中提供有液体，其特征在于：液体经过流出口被提供，沿与透镜系统相关的扫描点位置的基板平移方向观察时，它是处于扫描点的上游并且直接与所述透镜相邻近，所述流出口设置在壁内，其基本上延伸在虚平面内，因此，在透镜面对感光层的一侧延伸。

3.如权利要求1或2所要求的方法，其特征在于：该基板是盘形的，围绕垂直于基板延伸的旋转轴旋转，而透镜系统基本上沿相对于旋转轴的径向平移，沿相对于旋转轴的切线方向观察时，经过流出口提供的液体在扫描点的上游。

4.如权利要求1或2所权利要求的方法，其特征在于：以速率＝0,5^*V^*H^*W提供经过流出口的液体，其中W至少等于2^*H^*NA/√(n²-NA²)，V是相对于透镜系统在扫描点处基板的平移速度，H间隙的高度尺寸，W是沿垂直于该平移方向观察时，液体扩散进入间隙的宽度，NA是透镜系统的数值孔径，和n是液体的光学折射率。

5.如权利要求4所要求的方法，其特征在于：W至多为大约10*H。

6.如权利要求4所要求的方法，其特征在于：高度H至少为大约4μm，并且至多为大约100μm。

7.如权利要求6所要求的方法，其特征在于：高度H至少为大约7μm，并且至多为大约10μm。

8.如权利要求4所要求的方法，其特征在于：该流出口是圆的，并且其直径至多为大约0,5*W。

9.如权利要求1或2所要求的方法，其特征在于：沿着该平移方向观察，从感光层抽取的液体位于透镜系统的下游。

10.一种用于制作主模的装置，该主模用于制作光学可扫描信息载体，该装置设置有可以围绕旋转轴旋转的工作台，在该工作台上可以放置带感光层的基板，以及辐射源，光学透镜系统用于将在操作过程中辐射源所产生的辐射束在感光层上聚焦成为扫描点，平移设备，该设备可以相对于主要沿径向的旋转轴平移透镜系统，液体供应设备，该设备在位于感光层与面对所述感光层的透镜系统的透镜之间间隙提供液体，该制作主模装置的特征在于：该液体供应设备包括流出口，沿相对于旋转轴切线方向观察，它被安置于光学轴的上游，并且直接与所述透镜相邻近，位于壁内的所述流出口基本在一个虚平面内延伸，在其中面对感光层透镜的一侧延伸。

11.如权利要求10所要求的方法，其特征在于：在操作过程中，在间隙内，提供经过流出口的液体流，其流动速率为＝0,5^*V^*H^*W，此处W至少等于2^*H^*NA/√(n²-NA²)，和V是相对于透镜系统在光学轴位置基板的速度，H间隙的高度尺寸，W是沿径向观察的液体流的宽度，NA是透镜系统的数值孔径，和n是液体的光学折射率。

12.如权利要求11所要求的装置，其特征在于：宽度W至多为是大约10*H。

13.如权利要求11所权利要求的装置，其特征在于：高度H至少为大约4μm，并且至多为大约100μm。