[发明专利]半导体测试装置及其监视装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体测试装置及其监视装置以及筛选装置，它分别监视继电器的动作次数等测试履历并且容易维护。

背景技术

参照图5-图7说明以往技术例子的构成和动作。

首先说明半导体测试装置的概要构成例子。

如图7所示，半导体测试装置由以下部分构成：工作站10；主机20；测试头30；性能特性测试台80；IC插座90。

工作站10成为连接半导体测试装置和人之间的输入输出装置。

主机20，内置有半导体测试装置的电源单元、测试处理器和各测试组件等。

测试头30，内置有多个与测试通道数对应的电子线路的插脚式电子设备40的基板。

性能特性测试台80，安装对应被测定器件的IC插座90，是可以更换安装进行测试的被测定器件(以下，称为DUT)的测试台。

IC插座90，是与DUT91的管脚数和封装对应的插座。

以下，参照图5的方框图说明半导体测试装置的测试方法。

但是，为了使图简单，展示测试通道数是一个通道的情况，而在测试通道数是512个通道的情况下，插脚式电子设备40也是512通道。

在进行DC参数测试的施加电压测定电流的情况下，假设继电器S12断开，继电器S11接通，从直流测试器8中产生测试电压，施加在DUT91的管脚上，测定流过的电流。

以下说明对DUT91的I/O管脚进行功能测试的情况。

在图形发生器5中，与从定时发生器4中输出的基准时钟脉冲信号同步地产生逻辑数据。

在波形整形器6中，用来自图形发生器5的逻辑数据、来自定时发生器4的时钟脉冲信号，生成测试图形。

在插脚式电子设备40中，假设继电器S11、S13断开，继电器S12接通，测试图形由驱动器D11放大到规定的电压水平(VIH/VIL)，并输出到DUT91的管脚。

另外，来自DUT91的管脚的输出信号，把继电器S11设置成断开，把继电器S13设置成接通，以电阻R1为终端，把继电器S12设置成接通，用比较器C11比较电压，作为逻辑信号输出。

在逻辑比较器7中，在来自定时发生器4的选通脉冲信号的定时，逻辑比较来自DUT91的逻辑输出信号和来自图形发生器5的期待值，进行通过/失败判定。

以下，参照图6说明插脚式电子设备40的继电器控制和各测试电路控制的一例。

但是，继电器S11-S1n，假设是插脚式电子设备的全部通道的所有继电器。

如图6所示，控制用的测试处理器2，控制单元3，定时发生器4，图形发生器5，波形整形器6，逻辑比较器7，直流测试器8等的测试电路被连接在测试总线200上控制。

测试总线200，例如由8位数据，时钟脉冲等控制信号等构成，把32位数据以每8位划分串行转送。

控制单元3，由测试头总线100提供给予插脚式电子设备40的驱动器D11的电压水平(VIH/VIL)，给予继电器控制电路31等的控制信号。

但是，图6的方框图，把控制单元3以外的部分作为一个单元显示，但也可以合在一起或者分散构成电路。

继电器控制电路31，产生控制某一通道的某个继电器的信号。

继电器S11-S1n，是由驱动器D21-D2n控制电磁线圈的接通/断开，从而接通/断开簧片的簧片继电器等。

在此，继电器S11-S1n的个数，例如是512通道，如果一个通道使用3个，则合计是1536个。

因为插脚式电子设备的种类是3-8个，所以实际使用的继电器的个数非常多。

另一方面，继电器S11-S1n，有在接点不通电的干状态下接通/断开的情况，和在接点通电的湿状态下接通/断开的情况。

一般，继电器S11-S1n，因寿命的原因在接点不通电的干状态下接通/断开，而根据测试目标也可以在使接点通电的湿状态下接通/断开。

以下，说明半导体测试装置的维护。

半导体测试装置，使用簧片继电器、电机等有使用寿命的零件、随时间而性能下降的电容器等。

因此，例如为了检查继电器的动作次数，把接通/断开控制信号连接在计数器1上累计。

但是，根据测试程序，每个继电器有不同接通/断开的次数，由于在干状态和湿状态下接通/断开的不同寿命有差异，而且继电器数又很多，因而很难掌握继电器更换时期。 

发明内容