[发明专利]半导体测试装置及其监视装置

权利要求书

1.一种半导体测试装置，设置有：存储装置，写入控制信号；解析装置，解析从该存储装置中读出的信号信息；寿命预测装置，用通过该解析装置得到的解析信息，进行有寿命零件的寿命预测。

2.一种半导体测试装置，设置有：存储装置，写入控制信号；解析装置，解析从该存储装置中读出的信号信息，可以监视测试履历。

3.一种半导体测试装置，设置有：存储装置，写入控制信号；筛选装置，用检索数据检索从该存储装置读出的信号信息；解析装置，解析用该筛选装置检索到的信号信息；寿命预测装置，用从该解析装置得到的解析信息进行寿命零件的寿命预测。

4.一种半导体测试装置，在用总线信号控制各测试电路进行被测定器件测试的半导体测试装置中，设置有：多个缓冲存储器，写入上述总线的信号信息；计算机，读出该多个缓冲存储器的信号信息作为文件保存、解析。

5.一种半导体测试装置，在用总线信号信息控制各测试电路进行被测定器件的测试的半导体测试装置中，设置有：第一缓冲存储器，写入或者读出上述总线的信号信息；第二缓冲存储器，写入或者读出上述总线的信号信息；第一切换装置，切换到第一缓冲存储器或者第二缓冲存储器，交替连接总线的信号；第二切换装置，在该第一切换装置被切换到第一缓冲存储器时，选择第二缓冲存储器，在该第一切换装置被切换到第二缓冲存储器时，选择第一缓冲存储器，并输出被读出的信号；计算机，把用该第二切换装置交替选择并转送的缓冲存储器的信号信息作为文件保存、解析，可以根据该文件监视测试履历。

6.根据权利要求3、4或者5所述的半导体测试装置，被监视的测试履历是继电器动作的累计值。

7.根据权利要求6所述的半导体测试装置，被监视的测试履历是继电器的湿以及干动作的累计值。

8.根据权利要求6或者7所述的半导体测试装置，在继电器动作的累计值中设置限定值，并警告显示。

9.根据权利要求3、4或者5所述的半导体测试装置，设置筛选装置，它只使总线信号信息中的规定的信号信息通过，并输出到缓冲存储器。

10.一种半导体测试装置的监视装置，设置有：缓冲存储器，写入半导体测试装置的控制信号信息；计算机，把该缓冲存储器的信号信息作为文件保存并解析，可以监视测试履历。

11.一种半导体测试装置的监视装置，设置有：多个缓冲存储器，被连接在控制半导体测试装置的测试电路的总线上，替写入该总线的信号信息；计算机，交替读出该多个缓冲存储器的信号信息，作为文件保存并解析，可以监视测试履历。

12.一种半导体测试装置的监视装置，设置有：被连接在控制半导体测试装置的测试电路的总线上的第一缓冲存储器，用于写入或者读出上述总线的信号信息；第二缓冲存储器，用于写入或者读出上述总线的信号信息；第一切换装置，用于切换到第一缓冲存储器或者第二缓冲存储器，交替连接总线的信号；第二切换装置，在该第一切换装置被切换到第一缓冲存储器时，选择第二缓冲存储器，在该第一切换装置被切换到第一缓冲存储器时，选择第一缓冲存储器，并输出被读出的信号；计算机，把用该第二切换装置交替选择并转送的缓冲存储器的信号信息作为文件保存、解析，可以根据该文件监视测试履历。

13.根据权利要求10、11或者12所述的半导体测试装置的监视装置，被监视的测试履历是继电器动作的累计值。

14.根据权利要求13所述的半导体测试装置的监视装置，被监视的测试履历是继电器的湿以及干动作的累计值。

15.根据权利要求13或者14所述的半导体测试装置的监视装置，在继电器动作的累计值中设置限定值，并警告显示。

16.根据权利要求10、11或者12所述的半导体测试装置的监视装置，设置有筛选装置，只使总线信号信息中规定的信号信息通过，并输出到缓冲存储器。

17.一种半导体测试装置的监视装置，在控制多个继电器进行被测定器件的测试的半导体测试装置中，在存储装置中保存在使上述继电器的接点通电的湿状态下的接通/断开次数、使接点不通电的干状态下的接通/断开次数，解析测试履历。