[发明专利]磁头研磨装置以及研磨方法

说明书

技术领域

本发明涉及以研磨用夹具保持排列多个磁头的被研磨物的磁头研磨装置以及研磨方法。

背景技术

以往，在用于电子计算机的磁盘驱动装置的薄膜磁头的成批制造过程中，通过研磨把在陶瓷棒(切成一段一段形成滑块)上包含多个磁性薄膜的变换部分配置在1列上的被研磨物，就可以实现把变换部分的间隙的喉部高度设定为最适宜数据信号的读写的值。

当通过研磨工序把薄膜磁头的喉部高度设置成适宜的值的情况下，存在作为被研磨物的陶瓷棒歪斜，或者在陶瓷棒上存在不希望的弯曲的问题。即，如果在陶瓷棒上存在歪斜或者弯曲，则因为在研磨装置的旋转研磨用台上不能均匀地研磨陶瓷棒，所以例如即使陶瓷棒中央部分的薄膜磁头的喉部高度是适宜值，也有因为两端部分的薄膜磁头的喉部高度过大或者过小而有可能出现不良。

因此，在美国专利第5620356号公报中公开的磁头研磨装置中提出了，把陶瓷棒粘贴在板状的横向长夹具的底面上，一边测量由于被排列在陶瓷棒上的多个薄膜磁头的喉部高度引起变化的电阻值，一边通过修正研磨陶瓷棒的歪曲，把被形成在陶瓷棒上的各个薄膜磁头的喉部高度设定为最佳值。

在美国专利所揭示的以往的研磨装置中，设置成根据用由于喉部高度引起变化的电阻值求得的研磨量，在粘贴有陶瓷棒的横向长夹具的长方向的3处的上下方向施加负荷，修正陶瓷的弯曲。

但是，今后越来越要求喉部高度的高精度化，但在美国专利的研磨装置中，因为对横向长夹具的长方向的3处在上下方向上作用负荷，所以只能使陶瓷棒变形为近似于4次曲线那样的形状。因此，可以修正的喉部高度的图案也被限制在如近似于4次以下的低次曲线那样的形状。

与此相反，在实际研磨后的陶瓷棒中的磁头的喉部高度值分布，呈现例如近似于6次以上的高次曲线那样复杂的图案。因此，在以往的研磨装置中，在不能与近似于该高次曲线那样的喉部高度分布图案对应的部分中，存在喉部高度不能被充分修正的问题。

图28是展示使用以往的研磨装置，一边自动地进行喉部高度的控制，一边进行例如约50mm长度的陶瓷棒的研磨时的最终喉部高度分布的一例的图。在该图28中，实线表示喉部高度分布的6次曲线，虚线表示喉部高度分布的4次曲线。从图28可以明确看出，在该例子中，最终的喉部高度分布近似于6次曲线。

这样，相对于在研磨前的陶瓷棒中的喉部高度的实际分布图案是近似于6次以上的次数的曲线来说，在上述以往的研磨装置中，可以修正的喉部高度分布图案被限制在近似于4次以下的曲线。因此，如图28所示，在研磨后的喉部高度分布图案中，高次成分未被修正而残留下来。

这样，在以往的研磨装置中，当要求磁头的喉部高度高精度化的情况下，存在不能进行充分的修正的问题。

发明内容

本发明就是为了解决上述以往技术的问题而提出的，其目的在于提供一种可以更高精度地修正被研磨物的歪斜以及弯曲的磁头研磨装置以及研磨方法。

另外，本发明的目的在于提供一种可以根据被研磨物的歪斜以及弯曲的分布图案高精度修正的磁头研磨装置以及研磨方法。

为了实现上述的目的，本发明在研磨用夹具保持排列多个磁头的被研磨物的磁头研磨装置中具有以下特征：具有被驱动旋转的研磨面的旋转研磨用台，和被配置成可以相对该旋转研磨用台的研磨面移动的研磨装置主体部分，该研磨装置主体具有，被设置在该研磨装置主体的下方保持夹具的夹具保持部分，和在沿着夹具的长方向上设置的多个负荷附加部分上分别附加规定的负荷的负荷附加单元，负荷附加单元，为了使夹具变形为规定的形状，在负荷附加部分内的至少一处从多个不同的方向附加负荷。

在这样构成的本发明中，因为，设置成用负荷附加单元，在负荷附加部分内的至少一处从多个不同方向附加负荷，使夹具变形为规定形状，所以，例如，在研磨前，即使被研磨物的各磁头的喉部高度值分布为近似于高次曲线那样复杂的图案，也可以使夹具变形而与该图案忠实地对应，因此，可以非常高精度地修正被研磨物的歪斜和弯曲。

在本发明中理想的是，负荷附加单元具有在夹具的至少一处负荷附加部分上附加垂直方向的负荷的垂直方向负荷附加单元。

在本发明中理想的是，负荷附加单元具有在夹具的至少一处负荷附加部分上附加水平方向的负荷的水平方向负荷附加单元。

在本发明中理想的是，负荷附加单元具有在夹具的至少一个负荷附加部分上附加旋转方向的负荷的旋转方向负荷附加单元。

在本发明中理想的是，夹具保持单元在夹具的长方向的大致中央部分保持夹具。