[发明专利]磁头研磨装置以及研磨方法

权利要求书

1、一种磁头研磨装置，在研磨用夹具保持排列多个磁头的被研磨物的磁头研磨装置中，其特征在于，包括：

具有被驱动旋转的研磨面的旋转研磨用台；

被配置成相对该旋转研磨用台的研磨面可以移动的研磨装置主体部分，该研磨装置主体具备，保持被设置在该研磨装置主体的下方的上述夹具的夹具保持部分；

在沿着上述夹具的长方向设置的多个负荷附加部分上分别附加规定的负荷的负荷附加单元，

上述负荷附加单元，为了使上述夹具变形为规定形状，在上述负荷附加部分内的至少一处上从多个不同方向附加负荷。

2、权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于：上述负荷附加单元，具有在上述夹具的至少一处的负荷附加部分上附加垂直方向的负荷的垂直方向负荷附加单元。

3、权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于，上述负荷附加单元，具有在上述夹具的至少一处的负荷附加部分上附加水平方向的负荷的水平方向负荷附加单元。

4、权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于，上述负荷附加单元，具有在上述夹具的至少一处的负荷附加部分上附加旋转方向的负荷的旋转方向负荷附加单元。

5、权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于，上述夹具保持单元，把上述夹具保持在其长方向的大致中央。

6、权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于，上述研磨装置主体部分，具有以与上述研磨面平行的倾斜动作轴为中心保持研磨装置主体部分可以倾斜动作的倾斜动作单元。

7、权利要求1所述的磁头的研磨装置，其特征在于，进一步具有保持上述研磨装置主体部分可以摇动的摇动单元。

8、一种磁头研磨方法，在研磨排列多个磁头的被研磨物的磁头研磨方法中，其特征在于，具备：

准备保持被研磨物的夹具；

具有被驱动转动的研磨面的旋转研磨面用台；

具有被配置成相对该旋转研磨用台的研磨面可以移动的同时在其下方保持上述夹具的夹具保持部分的研磨装置主体部分的工序；

在上述夹具保持部分上安装沿着其长方向具备多个负荷附加部分的夹具的工序；

为了使上述夹具变形为规定形状一边在上述负荷附加部分内的至少一处上从多个不同方向附加负荷，一边研磨上述被研磨物的多个磁头的工序。

9、权利要求8所述的磁头研磨方法，上述研磨工序，具有在上述夹具的至少一个负荷附加部分上附加垂直方向的负荷的垂直方向负荷附加工序。

10、权利要求8所述的磁头研磨方法，上述研磨工序，具有在上述夹具的至少一个负荷附加部分上附加水平方向的负荷的水平方向负荷附加工序。

11、权利要求8所述的磁头研磨方法，上述研磨工序，具有在上述夹具的至少一个负荷附加部分上附加旋转方向的负荷的旋转方向负荷附加工序。

12、权利要求8所述的磁头研磨方法，上述夹具保持单元，把上述夹具保持在其长方向的大致中央。

13、权利要求8所述的磁头研磨方法，进一步以与上述研磨面平行的倾斜动作轴为中心把研磨装置主体部分保持可以倾斜动作。

14、权利要求8所述的磁头研磨方法，进一步把上述研磨装置主体部分保持为可以摇动。