[实用新型]永磁式平面磁控溅射靶无效
| 申请号： | 01255955.5 | 申请日： | 2001-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN2501888Y | 公开（公告）日： | 2002-07-24 |
| 发明（设计）人： | 张兴全;李守义 | 申请（专利权）人： | 深圳市福义乐磁性材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市中知专利代理有限公司 | 代理人： | 王雄杰 |
| 地址： | 518057 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 永磁 平面 磁控溅射 | ||
【权利要求书】：
1、永磁式平面磁控溅射靶，包括永磁体，其特征在于：在永磁体的上端面装有导磁极帽。
2、根据权利要求1所述永磁式平面磁控溅射靶，其特征在于：永磁体固定在极靴上，极靴通过升降调节螺杆支撑在磁控靶体上。
3、根据权利要求1所述永磁式平面磁控溅射靶，其特征在于：在永磁体的下端面装有导磁调整垫。
4、根据权利要求3所述永磁式平面磁控溅射靶，其特征在于：导磁调整垫固定在极靴上，极靴通过升降调节螺杆支撑在磁控靶体上。
5、根据权利要求1、2、3或4所述永磁式平面磁控溅射靶，其特征在于：永磁体包括外圈永磁体和中间永磁体，外圈永磁体的外侧面上装有短路磁极。
6、根据权利要求1、2、3或4所述永磁式平面磁控溅射靶，其特征在于：导磁极帽的横截面形状为梯形、楔形、三角形、锥形或半圆形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市福义乐磁性材料有限公司，未经深圳市福义乐磁性材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/01255955.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：压放式CD盒的置放装置
- 下一篇：免刺针罐
- 同类专利
- 专利分类
