[实用新型]一种快速取放机构无效
申请号: | 01223837.6 | 申请日: | 2001-05-16 |
公开(公告)号: | CN2480983Y | 公开(公告)日: | 2002-03-06 |
发明(设计)人: | 吕文鎔;刘锦源;万远祖;赖俊魁;黄朝显;林知明;刘俊贤 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00 |
代理公司: | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人: | 刘文意,陈红 |
地址: | 台湾*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 快速 机构 | ||
1.一种快速取放机构,其特征在于它包括有:
一齿轮组,它至少包括有一第一大齿轮、一第二大齿轮及一小齿轮:
至少二驱动装置,它包含有一第一驱动装置及一第二驱动装置:
一连杆机构,该连杆机构的一端是枢接于该第一大齿轮,而该连杆机构的中间部分亦枢接于该第二大齿轮,而该两大齿轮间分别与该小齿轮接触,另以该小齿轮为中间且该三齿轮的圆心排列在同一条假想的直线上,经由该连杆机构与该齿轮组的连结排列后,该连杆机构与该假想直线呈现在空间中平行的关系,且均与水平面成一角度,经由该第二驱动装置驱动二大齿轮的旋转可达到连杆机构的另一端进行向前延伸的动作,即非连结于第一大齿轮端会形成向前延伸的动作;连杆机构通过该齿轮组一同固定于一模板上:以及
一升降机构,它经由该第一驱动装置驱动促使升降机构进行上下移动,进而带动该模板,最后促使连杆机构与该齿轮组一同上下移动动作。
2.如权利要求1所述的一种快速取放机构,其特征在于所述的第一大齿轮,它与该第二大齿轮的直径是属相同。
3.如权利要求1所述的一种快速取放机构,其特征在于所述的二驱动装置,它是伺服马达。
4.如权利要求1所述的一种快速取放机构,其特征在于所述的连杆机构,其一端是与该第二同轴连杆枢接且固定于第一大齿轮。
5.如权利要求4所述的一种快速取放机构,其特征在于所述的第一同轴连杆是与第一大齿轮同步旋转动作。
6.如权利要求1所述的一种快速取放机构,其特征在于所述的连杆机构,其中间部分是与该第二同轴连杆枢接且固定于第二大齿轮。
7.如权利要求6所述的一种快速取放机构,其特征在于所述的第二同轴连杆,它是与第二大齿轮同步旋转动作。
8.如权利要求1所述的一种快速取放机构,其特征在于所述的第一驱动装置,它至少一驱动连杆装置驱动该升降机构。
9.如权利要求8所述的一种快速取放机构,其特征在于所述的升降机构,它以至少一从动连杆装置连动模板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造