[实用新型]探针测试卡

说明书

本实用新型涉及一种探针测试卡，特别是关于一种电路板上电极构造的改良，借助创新的排列，令制作时可采用复制方式来配线，易于规划，容易侦错，且可增进工作效率的一种探针测试卡。

公知芯片在测试时，是将芯片测试机台(IC tester)经过特殊的设计，在其检测头装上一探针测试卡(Probe card)，而该探针测试卡的构造如图1及图2所示，是在一电路板1a上设有圆形排列的复数个电极2a，而该电极2a则分别连接有以金线制成细如毛发的探针3a，使得该探针3a的另一端悬空，能用来侦测晶圆4a上芯片5a的接点(pad)6a，以便直接对该芯片5a输入信号或侦读输出值，再透过电子显微镜和机器手臂的控制，使得所有在同一晶圆4a上的芯片5a可以逐一地被测试。

但是，该探针3a连接时往往造成下列的问题：

1、常须要割线或跳线，才可制造出顺序性的配线来(如图3所示)。

2、跳线后制作时常焊错，以致制造工时增长且成本增高。

3、电气特性无法确时掌握，以致复制时困难度增加。

4、除错工时增长。

5、线上维修保养困难。

于是，由上可知，上述公知的探针测试卡，在实际使用上，显然具有不便与缺点存在，而可待加以改善。

因此，本实用新型设计人有感上述缺点可改善，乃特潜心研究并配合学理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺点的本实用新型。

本实用新型的主要目的，在于将圆形排列方式的电极改成采用平行排列方式，来避免繁杂的联机方式，使得探针连接时易于处理，并可大大增进制作的功效。

为了达成上述目的，本实用新型主要是提供一种探针测试卡，包括一电路板、复数个电极及复数条探针，其中，该电极设于该电路板上，呈平行方向排列，可为纵向平行、横向平行或斜向平行方向的排列方式，而该探针的一端分别连接该电极，另一端则悬空，可用以侦测芯片。

为了使贵审查员能更进一步了解本实用新型为达成预定目的所采取的技术、手段及功效，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，相信本实用新型的目的、特征与特点，当可由此得一深入且具体的了解，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型的保护范围加以限制。

图面说明：

图1为公知探针测试卡实施形态的斜视图。

图2为公知探针测试卡的平面图。

图3为公知须割线或跳线的探针测试卡的平面图。

图4为本实用新型规划连接芯片C1的平面图。

图5为本实用新型规划连接全部芯片的平面图。

图6为本实用新型第二实施例的平面图。

图7为本实用新型第三实施例的平面图。

图8为本实用新型第四实施例的平面图。

附图标记说明：公知：1a        电路板    2a    电极3a        探针      4a    晶圆5a        芯片      6a    接点本实用新型：1        电路板     2     电极3        探针       4     芯片5        接脚

请同时参阅图4及图5所示，本实用新型是一种探针测试卡，是在一电路板1上设有纵向水平排列的256个电极2(分别为电极0～255)，各电极2分别连接探针3的一端，使得该探针3的另一端悬空，且以并行处理的方式来侦测晶圆(图中未示出)上的芯片4(分别为芯片C1～C8)。

据此，该探针3连接时，可先选取电极0～17中的14个电极2，分别连接探针3，使得该探针3的另一端对应至待测芯片C1的14个接脚5，然后，重复上述的连接方式，使电极32～49中所选取的14个电极2分别连接探针3，使得该探针3的另一端对应至待测芯片C2的14个接脚5，依此类推，便可得到良好的配线规划，而不会发生传统割线或跳线的困扰，且容易侦错。

此外，如图6所示，为本实用新型的第二实施例，芯片4有32个接脚5，则同样的可以选取电极0～49中32个电极2，分别连接探针3，使得该探针3的另一端对应至待测芯片C1的32个接脚5，然后，重复上述的连接方式，将电极64～144中所选取的32个电极2分别连接探针3，使得该探针3的另一端对应至待测芯片C2的32个接脚，依此类推，便可得到良好的配线规划，故，使用者可依据待测芯片4的接脚5总数来选取适合的电极2数目的探针测试卡来作测试。