[发明专利]工件的机加工设备及加工方法

说明书

本发明涉及对其上安置有多个磁头的待抛光工件机加工的抛光设备及加工方法，尤其涉及用于在加工期间修正工件弯曲的设备和方法。

用于磁盘机或类似装置中的薄膜磁头具有通过加工杆状陶瓷(以后称之为陶瓷条)而制成的零件，在磁头上，多个由磁性薄膜或类似物制成的元件形成感应型磁转变元件、磁阻(以后称为MRS)元件或类似元件，这些元件在表面上成一行排列。通常，在薄膜磁头的零件成批制作过程中，其上制作有多个元件部份的陶磁条被抛光，并实施将每个元件的喉部高度或MR高度加工到一定值的工艺。一般说来，在磁盘机中，为了稳定磁头的输出特性，必须将磁头的磁极部份与记录介质表面间的距离保持在一误差极小的恒定值。喉部或类似物的高度值被用作确定此距离的一重要参数。

在下面的介绍中，喉部高度就是指在那种磁头芯部份中用于记录/复制磁信号的磁极端部的长度(高度)，该磁头芯部即是两个磁极以一细小的间隙彼此面对着的部位。MR高度则是指从在面对介质的侧面上的MR元件的端部到其另一相对端间的长度(高度)。为了能够进行合适地信号的记录/复制，喉部高度，MR高度及类似的高度值必须适合地选取。为了获得预定值，需要高精密度的抛光(抛磨polishing)加工。

之后，在一工序中，陶瓷条被切成单个元件部份，每个元件部份构成用于磁盘机的一磁头的一部份。在磁头用于磁盘机的情况下，该陶瓷部份成为一个滑件，在由该盘旋转产生的充气压力影响下，该滑件可被从磁盘上抬高。此元件部份成为进行记录和/或复制磁盘磁信号的磁头芯。

但是，一般说来，由于在从陶瓷基材制作元件部份或切割作业中所产生的应力使上述的陶瓷条有张紧、变形或弯曲。因此仅靠将陶瓷条固定并在其上进行抛光作业难以获得高机加工精度。为此，例如在US 5620356或类似专利中已公开的那样，已提供了专门的以高精度抛光陶瓷条形式的磁头的抛光设备。而且，本受让人也提出了一些方法及设备(如日本专利申请11-162799或类似申请)。

下面介绍一种用于上述陶瓷条的现有抛光方法。

首先，用粘结剂或类似物将与陶瓷条待抛光表面相对的表面固定于夹具上，然后通过夹具将陶瓷条待抛光面压靠在抛光座的抛光面上来对待抛光的表面进行抛光。夹具有一种梁结构。载荷从夹具外施加到夹具的几个(3-7)特定位置上，由此会使整个夹具变形。此外，该梁结构允许固定于陶瓷条的部份因上述载荷的平衡调整而经受复杂的变形，而陶瓷条同时会随该固定部份弯曲，由此而使陶瓷条本身具有的弯曲或类似情况被校正。

在抛光作业中，在固定于夹具上的陶瓷条上的预定允许部份上，如喉部高度那样的数值被用电学或光学方式来测量，由此而获得测量值与目标值间的差值，即根据测量获得需要的抛光部份的抛光量。根据在预定获得元件部份和其邻近部份上所需要的抛光量调整在多个位置上的载荷，然后对通过夹具而变形的陶瓷条抛光。这些步骤一再被重复进行，由此而使在此陶瓷条上形成的全部元件的喉部高度或类似高度均进入预定范围。

销或类似物可以插入其内的开口部分被制作在夹具的梁部上。在上述过程中加于夹具的载荷由如一低摩擦缸那样的致动器经传递件传送到此夹具的开口部分中插入的各销上。对夹具的载荷的调整是通过调整来自致动器的载荷，亦即是通过对致动器驱动量的调整来实现的。此外，由本申请人申请的日本专利申请10-178949公开了一种用于使陶瓷条有效变形或使载荷分布于陶瓷条上的一夹具专门实例。

根据目前磁盘机或类似物的记录密度，通过采用上述夹具、用磁头的机加工方法，可以使如喉部高度那样的数值在某种程度上在允许范围内。但是，已加快发展了高记录密度，而且，当前喉部高度的高精度或元件的微型化的趋势已很明显。难以在陶瓷条全长范围内使喉部高度那样的数值均在允许范围之内。

在如喉部高度那样的数值的允许范围变窄的情况中，例如存在着这样一种解决途径：即增加引起夹具变形的载荷施加位置。但是，这会导致实际施加载荷的致动器或载荷的传递部份(施加位置)的数量。如果说致动器或类似物使用于传统装置中是需要的话，由于从抛光设备结构方面看来，要大大增加安装致动器或类似物所需的空间，而使此方案难以具体实施。而且，在夹具根据元件微型化而本身被微型化的情况下，可能会出现的问题是：难以安置用来将载荷施加于需要载荷的施加位置上的、所需数量的致动器或类似物，如此等等。