[发明专利]支持多虚拟逻辑测试仪的半导体测试系统

权利要求书

1.一种支持多个虚拟测试仪、用于并行地测试多个装置的半导体测试系统，包括：

主机计算机，通过执行测试程序控制一个半导体测试系统的整个运行；

多个管脚单元，每个单元具有用于产生给待测量半导体装置的分配管脚的测试模式以及评估所得的待测量装置响应的装置；

管脚单元总线，设置在所述的主机计算机与该多个管脚单元之间，用于传送地址、数据、控制信号和时钟；

以及装置，用于当所述的主机计算机把一组选择地址放置在所述管脚单元总线上时配置对应于待测量装置的输入或输出管脚的管脚单元。

2.按照权利要求1所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，其中所述的用于配置所述的管脚单元的装置包括设置在每个所述的管脚单元内、用于当所述的主机计算机标识相应的管脚单元内的程序组选择地址寄存器时允许所述的组选择地址写入所述的寄存器内的管脚单元写译码器。

3.按照权利要求1所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，其中运行在多个虚拟测试仪上的测试一起或独立地启动并且独立地终止。

4.按照权利要求1所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，其中每个所述的管脚单元被分配给该半导体测试系统的一个或多个测试管脚，其中待测量装置的每个所述的输入或输出管脚连接到对应的一个所述的测试管脚。

5.按照权利要求1所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，其中每个所述的管脚单元被分配给该半导体测试系统的一组测试管脚，其中在所述组内的测试管脚的数目在该主机计算机的控制下动态地变化。

6.按照权利要求1所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，其中每个所述的管脚单元被分配给该半导体测试系统的一组测试管脚以便每个管脚单元可以独立地测试多个待测量装置中的一个。

7.按照权利要求1所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，其中每个所述的管脚单元被动态地分配给半导体测试系统的一组测试管脚以便每个管脚单元作为一个独立地测试仪工作来以这样一种方式测试多个待测量装置中的一个，即一个管脚单元的测试操作与其它管脚单元是同步或异步地执行的。

8.按照权利要求1所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，其中每个所述的管脚单元是动态地分配给该半导体测试系统的一组测试管脚，以便每个测试单元作为一个独立地测试仪工作来以这样一种方式测试多个待测量装置中的一个，即一个管脚单元的测试操作与其它管脚单元是一起或分开地启动并且是分开地终止。

9.按照权利要求2所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，其中所述的管脚单元写译码器包括：

装置，用于标识管脚单元内的程序组选择地址寄存器的一个组选择地址；

装置，用于从管脚单元总线接收标识该管脚单元内的一个目标寄存器所属的一个组的组地址数据以便在其中写测试数据；

装置，用于对比该管脚单元的组选择地址和来自管脚单元总线的组地址数据并当它们匹配时产生一个使能信号；以及

译码器，用于当接收到该使能信号时译码该组地址数据以把该测试数据写入管脚单元内的目标寄存器。

10.按照权利要求9所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，还包括用于在分组该管脚单元后以主时钟的时序产生测试启动信号的装置。

11.按照权利要求1所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，还包括从每个管脚单元产生一个终止测试信号的装置，在此处每个管脚单元都被分配一组半导体测试系统的测试管脚以便作为一个独立的测试仪工作。

12.按照权利要求11所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，其中该主机计算机监视该终止测试信号，并针对产生终止测试信号的管脚单元停止该测试进程，同时继续进行其它管脚单元内的测试进程。

13.按照权利要求11所述的支持多个虚拟测试仪的半导体测试系统，其中该主机计算机监视该终止测试信号，并针对已产生终止测试信号的管脚单元改变待测量装置来为其启动一个新的测试，同时继续进行其它管脚单元内的测试进程。