[发明专利]有机化合物的汽相沉积法和精制法

说明书

发明背景

1．发明领域

本发明涉及一种有机化合物的汽相(热蒸发)沉积方法和一种有机化合物的精制方法。

2．相关领域的描述

一般地，真空中热蒸发的方法用作一种薄膜形成的方法，后者用于生产具有有机化合物薄膜的元件，该元件为一种有机电场致发光元件(被称作EL元件)。也就是说，例如，将有机化合物粉末导入缠有电阻丝的陶瓷坩埚中，通过电阻丝通电加热坩埚，内部的有机化合物粉末升华而将内部的有机化合物粉末沉积到有待沉积的物体上。

但是，在传统的汽相沉积方法中，由于导热性低的有机化合物从坩埚的外部受热，在坩埚中热量不能充分地分布，以致于热量不能均匀地传到坩埚中的有机化合物上。因此，在升华过程中，部分有机化合物升华，但是部分有机化合物没有升华，这样造成了升华效率的衰减，导致汽相沉积速度的降低。尤其是，与坩埚内壁接触的一部分有机化合物因局部过热而易于热解。若热解发生，分解的组分就会进入形成的薄膜之中，这样导致元件效率的减小。而且，在批量生产的情况下，坩埚的容量不可避免地要增大，与坩埚的开口直径相比，坩埚的深度也要相应地增加。因此，当有机化合物的数量随着时间流逝时，有机化合物的分子因烟囱效应有一种定向作用。结果，要在有机化合物将要沉积的表面均匀形成一种薄膜是不可能的。为了解决这个问题，在传统的装置中，在坩埚的开口处装上具有许多孔的盖子，以防止有机化合物分子因烟囱效应而表现出的定向作用。

在有机化合物的一种已知精制方法中，导入坩埚中的有机化合物受热，升华或蒸发的有机化合物经过冷却来仅仅提取该有机化合物。在这种方法中，由于有机化合物的非均匀导热而得不到有效的精制效率，与坩埚内壁接触的一部分有机化合物因局部过热而易于热解，以致于混合有作为杂质分解的组分。

发明综述

本发明的一个目的是通过提供一种有机化合物的汽相沉积方法，来克服上面提到的先有技术的缺点，在该方法中，导入接受容器中的有机化合物非常均匀地受热，这样就会得到较高的沉积效率。

本发明的另一个目的是提供一种有机化合物的精制方法，其中有机化合物被高效和高纯度地精制。

已经发现，如果有机化合物粉末与一种具有高导热性的物质(例如陶瓷，金属，或陶瓷涂层的金属)混合，当装有有机化合物粉末和上面提到的物质混合物的接受器受热时，在接受器中热量因高导热性的物质而均匀地传递到有机化合物粉末的内部，以致于可以得到均匀的热量，有机化合物蒸发或升华。本发明具体表现为一种汽相沉积方法和精制方法。

本发明一方面提供了一种有机化合物的汽相沉积方法，该方法包括，在容器中调和有机化合物粉末与至少一种陶瓷，金属及陶瓷涂层了的金属的粉末或碎粒子的混合物；在真空条件下加热容纳有混合物的容器，这样有机化合物进行升华或蒸发并沉积到物体的表面，在其上面形成薄的有机化合物层。

优选地，有机化合物粉末与至少一种陶瓷、金属、陶瓷涂层了的金属的混合比率在1∶50到50∶1(体积比)的范围内。

在实施例中，陶瓷，金属及陶瓷涂层了的金属的粉末或碎粒子的粒子直径在0.01μm至6mm的范围内。

陶瓷可以是多孔陶瓷材料。

在一个实施方案中，陶瓷是一种金属氧化物、金属氮化物，碳化物或者炭。

在一个实施方案中，陶瓷是氮化铝，碳化硅或者炭。可以使用任何形式的炭。活性炭，炭黑，石墨等等可以优选作为炭。其中，具有高理论密度的石墨是最优选的。

有机化合物可以用于形成一种有机电场致发光元件。

贮器可以是坩埚或者舟皿。

本发明另一方面提供了一种有机化合物的精制方法，该方法包括在容器中调和一种有机化合物粉末与至少一种陶瓷，金属及陶瓷涂层了的金属的粉末或碎粒子的混合物；在真空中加热容纳有混合物的容器，以致于有机化合物升华或蒸发，以提取有机化合物。

优选地，有机化合物粉末与至少一种陶瓷、金属、陶瓷涂层了的金属的混合比率在1∶50到50∶1(体积比)的范围内。

在一个实施方案中，陶瓷，金属及陶瓷涂层了的金属的粉末或碎粒子的粒子直径在0.01μm至6mm的范围内。

陶瓷可以是多孔陶瓷材料。

在一个实施方案中，陶瓷是一种金属氧化物，金属氮化物，碳化物或者炭。

在一个实施方案中，陶瓷是氮化铝，碳化硅或者炭。可以使用任何形式的炭。活性炭，炭黑，石墨等等可以优选作为炭。其中，具有高理论密度的石墨是最优选的。

有机化合物可以用于形成一种有机电场致发光元件。

贮器可以是坩埚或者舟皿。

附图的简要描述