[发明专利]双向静电放电二极管结构无效
申请号: | 00806291.9 | 申请日: | 2000-12-05 |
公开(公告)号: | CN1347567A | 公开(公告)日: | 2002-05-01 |
发明(设计)人: | R·A·科尔克拉泽;D·M·希米德 | 申请(专利权)人: | 皇家菲利浦电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王岳,傅康 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双向 静电 放电 二极管 结构 | ||
交互参照有关的申请
由Roy A.Colclaser和David M.Szmyd并此同时提出的、名称为“Improved ESD Diode(改进型ESD二极管)”的美国专利申请序列号U.S.Patent no.09/466,401,它转让予本文件的代理人,所包含的主题内容与本专利申请的主题内容相关联。
本发明背景
本发明的领域
本发明涉及一种用于保护电路抗御静电放电(ESD)的装置,更具体地,涉及一种有着减小的结电容量的ESD二极管。
先有技术的讨论
图1示明了通常的、能抗御静电放电(ESD)的保护电路布置100。图中受保护的装置是电路110,它可以形成在一个集成电路或是芯片的一种半导体基底上。电路110的输入115和输出120分别连接至输入和输出缓冲垫125、130上,它们随后连接至集成电路或芯片的针脚上。
典型地,电路110的输入115和输出120在抗静电放电(ESD)保护中应用了连接在输入/输出缓冲垫125、130与电源线之间的二极管D1、D2、D3和D4。电源线包括接地总线135和供电总线140,供电总线140连接至一个用于提供出称为Vcc正电压的电压源上。
如本技术领域内所周知的,二极管D1、D2、D3和D4之每一个由一个P-N结形成,它们可以集成在其中包括有受保护电路100的同一芯片或集成电路上。在保护上为了抗御正ESD,二极管D1、D2的阳极(P侧)连接至电路110的输入115和输出120上。二极管D1、D2的阴极(N侧)连接至具有正电压Vcc的供电总线140上。为了抗御负ESD,二极管D3、D4的阴极(N侧)连接至电路110的输入115和输出120上。二极管D3、D4的阳极(P侧)连接至接地总线135上。图1上,二极管D1的阳极(P侧)示明为数号145,阴极(N侧)示明为数号150。本技术领域内的熟练人员知道,对二极管D1的说明仅是示例的目的,它同样地可应用到全部二极管D1-D4上。
如本技术领域内所周知的,每个二极管(例如二极管D1)在反向偏置也即阴极(N侧)150电位相对于阳极(P侧)145电位为正时,它是截止的,直至阴极电压足够高时会导致二极管击穿。工作在反偏状态时,从阴极到阳极的电流是非常小的,称之为泄漏电流。
当阳极145或即P侧电位相对于阴极150或即N侧电位为正时,其工作状态称之为正向偏置。而且,二极管D1上的电压称为正偏电压,它是阳极145与阴极150间的电压。当二极管D1上的正偏电压增加时,称为阳极电流的阳极145至阴极150间电流将如图4中曲线410所示地随电压值而呈指数地增大。对于典型的硅二极管来说,使二极管D1转换至导通状态而电流呈增长效应的门限电压或即导通电压VT,大约为0.7伏。高于此导通电压VT、也即在导通状态下时,当电压逐渐增加时,电流将显著地增大。应当指出,在大电流情况下,例如在发生ESD电流期间,由于二极管的内阻,二极管上的电压会上升至几伏。
如图4中曲线410所示,在阴极150到阳极145的反方向或即截止电流下,二极管D1-D4呈现出开路状态。因导通电压VT使阳极145的电压高于阴极150的电压时,二极管D1进入正向导通状态,它对阳极145或即P侧至阴极150或即N侧的电流流通提供出一条电阻相对地低的通路。
ESD电流会在集成电路中任一对针脚之间的正或负极性电压下发生。因此,必须对每个输入/输出针脚与供电总线140和接地总线135之间、以及与所有其它输入/输出针脚之间,都提供出ESD保护。此外,要求在供电总线140与接地总线135之间,同时有正极性的和负极性的ESD保护。相对于接地总线135,例如当输入缓冲垫125这输入/输出缓冲垫上有正ESD时,ESD电流将经由二极管D1流通至供电总线140上。然后,该ESD电流将通过一个箝位结构155流通至接地总线135上,该箝位电路位于供电总线140与接地总地135之间。相对于接地总线135,当输入缓冲垫125上有负ESD时,ESD电流将通过二极管D3流通至接地总线135上。
相对于供电总线140,当输入/输出缓冲垫125、130上有正ESD时,ESD电流将通过二极管D1、D2流通至供电总线140上。相对于供电总线140,当输入/输出缓冲垫125、130上有负ESD时,它等效于相对于输出/输出缓冲垫125、130来说在供电总线140上有正ESD,ESD电流将通过箝位结构155和通过二极管D3、D4流通至缓冲垫125、130上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的