[实用新型]磁控溅射泡沫镍卷绕镀膜机无效
| 申请号： | 00246953.7 | 申请日： | 2000-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN2434311Y | 公开（公告）日： | 2001-06-13 |
| 发明（设计）人： | 夏正勋 | 申请（专利权）人： | 夏正勋 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 甘肃省专利服务中心 | 代理人： | 徐筱梅 |
| 地址： | 730050 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 泡沫 卷绕 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1、一种磁控溅射泡沫镍卷绕镀膜机，其特征在于它包括：一个形状为圆形或方形的单室型真空室(2)；一个设在真空室(2)内的驱动车(5)；一对设在真空室(2)内的放、收卷辊(3)、(4)；数对设在真空室(2)内的磁控靶(9)。
2、根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于所述的放卷辊(3)与收卷辊(4)上卷绕有被镀基材泡沫塑料(6)，放卷辊(3)与收卷辊(4)间的泡沫塑料(6)之间设有传动链条或带(1)及多个导辊(7)。
3、根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于所述的磁控靶(9)成对出现，水平或垂直设置，其上靶或内靶安装在驱动车(5)上，下靶或外靶安装在真空室(2)的室体上，磁控靶(9)两侧设有充气管路(8)。
4、根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于所述的磁控靶(9)采用电磁靶或永磁靶。
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