[实用新型]电镀设备

权利要求书

1．一种电镀至少一块基片的设备，其中，所述的设备包括至少一个用来盛放电解液的容器，用来在所述的容器中承载所述基片的装置，以及至少一个电极，其特征在于，所述的设备还包括设置在所述电极和所述承载装置之间的装置，该装置用来阻挡在电镀过程中产生的气体从所述电极移动到所述的承载装置上，且其中所述的阻挡装置至少部分是由聚丙烯制成。

2．如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述的阻挡装置对所述的电解液是可渗透的。

3．如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述的阻挡装置包括至少一种聚丙烯网状材料。

4．如权利要求3所述的设备，其特征在于，所述的聚丙烯网状材料被固定在一个框架上。

5．如权利要求1所述的设备，其特征在于，该设备还包括至少两个电极，在所述的承载装置的每侧各一个。

6．如权利要求5所述的设备，其特征在于，所述的阻挡装置包括两个阻挡件，每个处在所述的承载装置和一个相应的电极之间。

7．如权利要求5或6所述的设备，其特征在于，所述的设备还包括两排电极。

8．如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述的电极是不溶性阳极。